Sipat mékanis tina lapisan mémbran kapangaruhan ku adhesion, stress, dénsitas aggregation, jsb Tina hubungan antara bahan lapisan mémbran jeung faktor prosés, éta bisa ditempo yén lamun urang hayang ngaronjatkeun kakuatan mékanis tina lapisan mémbran, urang kedah difokuskeun parameter prosés handap:
(1) tingkat vakum. Vakum dina pagelaran pilem atra pisan. Kalolobaan indikator kinerja lapisan pilem pisan gumantung kana tingkat vakum. Biasana, nalika darajat vakum naék, dénsitas agrégasi pilem naék, firmness naék, struktur pilem ningkat, komposisi kimia janten murni, tapi dina waktos anu sami setrés ogé ningkat.
(2) Laju déposisi. Ningkatkeun laju déposisi teu ngan bisa dipaké pikeun ngaronjatkeun laju évaporasi, nyaeta, ngaronjatkeun pendekatan suhu sumber évaporasi, ogé bisa dipaké pikeun ngaronjatkeun pendekatan aréa sumber évaporasi pikeun ngahontal, tapi pamakéan sumber évaporasi pikeun ngaronjatkeun suhu pendekatan boga drawbacks na: nyieun stress lapisan mémbran badag teuing; gas film-ngabentuk gampang terurai. Jadi kadang nambahan wewengkon sumber évaporasi ti pikeun ngaronjatkeun suhu sumber évaporasi leuwih nguntungkeun.
(3) suhu substrat. Ningkatkeun suhu substrat anu kondusif pikeun adsorption dina beungeut substrat tina molekul gas sésana ngaluarkeun, ningkatkeun substrat jeung gaya mengikat antara molekul disimpen: dina waktos anu sareng bakal ngamajukeun konversi adsorption fisik kana adsorption kimiawi, ningkatkeun interaksi antara molekul, ku kituna struktur lapisan mémbran téh kedap. Contona, Mg, mémbran, pemanasan substrat nepi ka 250 ~ 300 ℃ bisa ngurangan setrés internal, ngaronjatkeun dénsitas aggregation, ngaronjatkeun karasa lapisan mémbran: pemanasan substrat ka 120 ~ 150 ℃ disiapkeun Zr03-Si02, mémbran multilayer, kakuatan mékanis na ngaronjat pisan, tapi suhu substrat teuing deterioration bakal ngabalukarkeun lapisan mémbran.
(4) Bom ion. Bom ion boga pangaruh dina formasi surfaces kacida cohesive, roughness permukaan, oksidasi jeung dénsitas aggregation. The bombardment saméméh palapis bisa ngabersihan beungeut jeung ningkatkeun adhesion nu; bombardment sanggeus palapis bisa ngaronjatkeun dénsitas aggregation lapisan pilem, jsb, sahingga ngaronjatkeun kakuatan mékanis jeung karasa.
(5) Ngabersihan substrat. Métode beberesih substrat teu luyu atawa teu bersih, dina najis residual substrat atawa agén beberesih, lajeng ngabalukarkeun polusi anyar, dina palapis kaayaan kohési béda jeung adhesion, mangaruhan lapisan kahiji tina sipat struktural jeung ketebalan optik, tapi ogé nyieun lapisan pilem gampang kaluar tina substrat, sahingga ngarobah karakteristik lapisan pilem.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: May-04-2024