Технологија вакуумског премазивања је технологија која наноси танкослојне материјале на површину подлоге под вакуумом, што се широко користи у електроници, оптици, паковању, декорацији и другим областима. Опрема за вакуумско премазивање може се углавном поделити на следеће типове:
1. Опрема за термичко испаравање: ово је најтрадиционалнија метода вакуумског премазивања, загревањем танког филма материјала у чамцу за испаравање, материјал се испарава и таложи на површину материјала подлоге.
2. Опрема за распршивање премаза: коришћењем високоенергетских јона који ударају у површину циљног материјала, атоми циљног материјала се распршују и таложе на материјал подлоге. Магнетронско распршивање је у стању да постигне равномерније и јаче пријањање филма, погодно за масовну производњу.
3. Опрема за наношење јонским снопом: Јонски снопови се користе за наношење танких филмских материјала на подлогу. Ова метода може да добије веома уједначене филмове и погодна је за прилике са високим захтевима за прецизношћу, али је цена опреме висока.
4. Опрема за хемијско таложење из парне фазе (CVD): Формира танке филмове на површини материјала подлоге путем хемијске реакције. Ова метода може да припреми висококвалитетне, вишеврсне филмове, али је опрема сложена и скупа.
5. Опрема за молекуларну епитаксију снопа (MBE): Ово је метода контроле раста танких филмова на атомском нивоу и углавном се користи за припрему ултратанких слојева и вишеслојних структура за полупроводничке и нанотехнолошке примене.
6. Опрема за хемијско таложење из парне фазе помоћу плазме (PECVD): Ово је техника која користи плазму за побољшање таложења танких филмова хемијском реакцијом, омогућавајући брзо формирање танких филмова на нижим температурама.
7. Уређаји за пулсирајуће ласерско таложење (PLD): Ови уређаји користе високоенергетске ласерске импулсе да би погодили мету, испарили материјал са површине мете и таложили га на подлогу, и погодни су за узгој висококвалитетних, сложених оксидних филмова.
Сваки од ових уређаја има своје карактеристике у дизајну и раду и погодан је за различите индустријске примене и истраживачке области. Са развојем технологије, напредује и технологија вакуумског премазивања, а појављује се и нова опрема за вакуумско премазивање.
–Овај чланак је објављен од странемашина за вакуумско премазивањепроизвођач Гуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 12. јун 2024.