На механичка својства мембранског слоја утичу адхезија, напрезање, густина агрегације итд. Из односа између материјала мембранског слоја и фактора процеса, може се видети да ако желимо да побољшамо механичку чврстоћу мембранског слоја, треба да се фокусирамо на следеће параметре процеса:
(1) ниво вакуума. Утицај вакуума на перформансе филма је веома очигледан. Већина индикатора перформанси слоја филма у великој мери зависи од нивоа вакуума. Обично, како се степен вакуума повећава, густина агрегације филма се повећава, чврстоћа се повећава, структура филма се побољшава, хемијски састав постаје чистији, али истовремено се повећава и напон.
(2) Брзина таложења. Побољшање брзине таложења не само да може побољшати брзину испаравања, односно повећати температуру извора испаравања, већ се може користити и за повећање површине извора испаравања. Међутим, коришћење извора испаравања за повећање температуре има своје недостатке: напон мембранског слоја је превелик; гас који ствара филм се лако разлаже. Стога је понекад повољније повећати површину извора испаравања него побољшати температуру извора испаравања.
(3) температура подлоге. Повећање температуре подлоге погодује адсорпцији преосталих молекула гаса на површини подлоге, повећавајући силу везивања између депонованих молекула на подлози: истовремено ће се подстаћи конверзија физичке адсорпције у хемијску адсорпцију, побољшати интеракција између молекула, тако да је структура мембранског слоја чврста. На пример, загревање подлоге Mg мембране на 250 ~ 300 ℃ може смањити унутрашњи напон, побољшати густину агрегације и повећати тврдоћу мембранског слоја: загревање подлоге на 120 ~ 150 ℃ припремљене вишеслојне ZrO3-SiO2 мембране, њена механичка чврстоћа се знатно повећава, али превисока температура подлоге ће довести до погоршања мембранског слоја.
(4) Јонско бомбардовање. Јонско бомбардовање утиче на формирање високо кохезивних површина, храпавост површине, оксидацију и густину агрегације. Бомбардовање пре премазивања може очистити површину и повећати адхезију; бомбардовање након премазивања може побољшати густину агрегације слоја филма итд., чиме се повећава механичка чврстоћа и тврдоћа.
(5) Чишћење подлоге. Ако метод чишћења подлоге није одговарајући или није чист, у подлози остају нечистоће или средства за чишћење, што може довести до новог загађења. У премазу се јављају различити услови кохезије и адхезије, што утиче на структурна својства и оптичку дебљину првог слоја, али и доводи до тога да се филм лако одваја од подлоге, што мења карактеристике филма.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 04. мај 2024.