1. Технологија таложења уз помоћ јонског снопа карактерише се јаком адхезијом између мембране и подлоге, при чему је мембрански слој веома јак. Експерименти показују да: таложење уз помоћ јонског снопа има неколико пута, па чак и стотинама пута већу адхезију од термичког таложења паром, а разлог је углавном ефекат чишћења површине јонским бомбардовањем, тако да се на површини мембране формира градијентна међуповршинска структура или хибридни прелазни слој, што смањује напрезање мембране.
2. Наношење уз помоћ јонског снопа може побољшати механичка својства филма, продужити век трајања до замора, веома је погодно за припрему оксида, карбида, кубног BN, TiB2 и дијамантских премаза. На пример, код термоотпорног челика 1Cr18Ni9Ti, коришћење технологије наношења уз помоћ јонског снопа за раст Si3N4 филма дебљине 200 нм не само да може спречити појаву заморних пукотина на површини материјала, већ и значајно смањити брзину ширења заморних пукотина, што има добру улогу у продужењу века трајања.
3. Депозиција уз помоћ јонског снопа може променити природу напрезања филма и променити његову кристалну структуру. На пример, припрема Cr филма бомбардовањем површине подлоге Xe+ или Ar+ зрачењем од 11,5 keV, показала је да подешавање температуре подлоге, енергије бомбардовања јонима, јонима и атомима ради постизања односа параметара може довести до промене напрезања од затезног до компресивног напрезања, што ће такође довести до промена у кристалној структури филма. Под одређеним односом доласка јона и атома, депозиција уз помоћ јонског снопа има бољу селективну оријентацију него мембрански слој депонован термичким таложењем из паре.
4. Наношење уз помоћ јонског снопа може побољшати отпорност мембране на корозију и оксидацију. Због густине слоја филма настале наношењем уз помоћ јонског снопа, побољшава се структура површине основе филма или се формира аморфно стање услед нестанка граница зрна између честица, што доприноси повећању отпорности материјала на корозију и отпорности на оксидацију на високим температурама.
5. Наношење уз помоћ јонског снопа може променити електромагнетна својства филма и побољшати перформансе оптичких танких филмова.
6. Јонско потпомогнуто таложење омогућава прецизно и независно подешавање параметара везаних за атомско таложење и јонску имплантацију, и омогућава сукцесивно генерисање премаза од неколико микрометара са конзистентним саставом при ниским енергијама бомбардовања, тако да се различити танки филмови могу узгајати на собној температури, избегавајући негативне ефекте на материјале или прецизне делове који могу бити узроковани њиховом обрадом на повишеним температурама.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 24. јануар 2024.