CVD технологија премазивања има следеће карактеристике:
1. Процес рада CVD опреме је релативно једноставан и флексибилан, и може да припреми појединачне или композитне филмове и легиране филмове са различитим пропорцијама;
2. CVD премаз има широк спектар примене и може се користити за припрему различитих металних или металних филмских премаза;
3. Висока ефикасност производње због брзине наношења у распону од неколико микрона до стотина микрона у минути;
4. У поређењу са PVD методом, CVD има боље дифракционе перформансе и веома је погодан за премазивање подлога сложених облика, као што су жлебови, премазане рупе, па чак и структуре са слепим рупама. Премаз се може нанети у филм са добром компактношћу. Због високе температуре током процеса формирања филма и јаке адхезије на споју филма и подлоге, слој филма је веома чврст.
5. Штета изазвана зрачењем је релативно мала и може се интегрисати са процесима интегрисаних кола MOS.
——Овај чланак је објавио Гуангдонг Женхуа,произвођач машина за вакуумско премазивање
Време објаве: 29. март 2023.