Spërkatja është një fenomen në të cilin grimcat energjike (zakonisht jonet pozitive të gazrave) godasin sipërfaqen e një trupi të ngurtë (më poshtë i quajtur materiali i synuar), duke bërë që atomet (ose molekulat) në sipërfaqen e materialit të synuar të dalin prej tij.
Ky fenomen u zbulua nga Grove në vitin 1842 kur materiali i katodës u zhvendos në murin e një tubi vakumi gjatë një eksperimenti për të studiuar korrozionin katodik. Kjo metodë spërkatjeje në depozitimin e substratit të filmave të hollë u zbulua në vitin 1877, për shkak të përdorimit të kësaj metode të depozitimit të filmave të hollë në fazat e hershme, shkalla e spërkatjes është e ulët, shpejtësia e ngadaltë e filmit, duhet të vendoset në pajisjen e presionit të lartë dhe të kalojë në gazin afektiv dhe një sërë problemesh të tjera, kështu që zhvillimi është shumë i ngadaltë dhe pothuajse i eliminuar, vetëm në metalet e çmuara kimikisht reaktive, metalet zjarrduruese, dielektrikët dhe komponimet kimike, materiale në një numër të vogël aplikimesh. Deri në vitet 1970, për shkak të shfaqjes së teknologjisë së spërkatjes magnetron, veshja me spërkatje është zhvilluar me shpejtësi, filloi të hyjë në ringjalljen e rrugës. Kjo për shkak se metoda e spërkatjes magnetron mund të kufizohet nga fusha elektromagnetike ortogonale në elektrone, duke rritur probabilitetin e përplasjes së elektroneve dhe molekulave të gazit, jo vetëm që zvogëlon tensionin e shtuar në katodë, por përmirëson edhe shkallën e spërkatjes së joneve pozitive në katodën e synuar, duke zvogëluar probabilitetin e bombardimit të elektroneve në substrat, duke ulur kështu temperaturën e tij, me një "shpejtësi të lartë, temperaturë të ulët". Dy karakteristikat kryesore janë "shpejtësi të lartë dhe temperaturë të ulët".
Deri në vitet 1980, megjithëse u shfaq vetëm një duzinë vjetësh, ajo dallohet nga laboratori, në të vërtetë në fushën e prodhimit masiv të industrializuar. Me zhvillimin e mëtejshëm të shkencës dhe teknologjisë, në vitet e fundit në fushën e veshjes me spërkatje dhe futjen e spërkatjes së përmirësuar me rreze jonike, përdorimi i një rrezeje të gjerë të burimit jonik të rrymës së fortë të kombinuar me modulimin e fushës magnetike, dhe me kombinimin e spërkatjes konvencionale dipole të përbërë nga një mënyrë e re spërkatjeje; dhe do të jetë futja e furnizimit me energji të rrymës alternative me frekuencë të ndërmjetme për burimin e synuar të spërkatjes magnetronike. Kjo teknologji e spërkatjes magnetronike me frekuencë të mesme AC, e quajtur spërkatje me objektiv të dyfishtë, jo vetëm që eliminon efektin e "zhdukjes" së anodës, por gjithashtu zgjidh problemin e "helmimit" të katodës, gjë që përmirëson shumë stabilitetin e spërkatjes magnetronike dhe ofron një bazë të fortë për prodhimin industrial të filmave të hollë të përbërë. Kjo ka përmirësuar shumë stabilitetin e spërkatjes magnetronike dhe ka siguruar një bazë të fortë për prodhimin industrial të filmave të hollë të përbërë. Në vitet e fundit, veshja me spërkatje është bërë një teknologji në zhvillim e sipër e përgatitjes së filmit, aktive në fushën e teknologjisë së veshjes me vakum.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 05 Dhjetor 2023