Tignoolajiyada dahaarka Vacuum waa tignoolajiyada dhigata walxaha aflaamta khafiifka ah dusha sare ee agabka substrate-ka hoos yimaada deegaanka faakuumka, kaas oo si weyn loogu isticmaalo aaladaha elektiroonigga ah, muraayadaha indhaha, baakadaha, qurxinta iyo meelaha kale. Qalabka daahan vacuum waxaa inta badan loo qaybin karaa noocyada soo socda:
1. Qalabka dahaarka uumiga kuleylka: tani waa habka ugu dhaqsaha badan ee daahan faakuumka, adoo kululeynaya walxaha filimka khafiifka ah ee doonta uumiga, maaddada ayaa la uumi baxaa oo lagu shubaa dusha sare ee alaabta substrate.
2. Qalabka dahaarka ee daahan: iyadoo la isticmaalayo ions tamar sare leh si ay ugu dhufato dusha walxaha bartilmaameedka ah, atomyada walxaha bartilmaameedku waa la daadiyaa oo lagu shubaa walxaha substrate-ka. Magnetron sputtering wuxuu awood u leeyahay inuu helo lebis badan iyo adhesion xooggan ee filimka, oo ku habboon wax soo saarka ballaaran.
3.Ion beam deposition equipment: Ion beams waxaa loo isticmaalaa in lagu shubo alaabta khafiifka ah ee substrate-ka. Habkani wuxuu heli karaa filimo isku mid ah wuxuuna ku habboon yahay munaasabadaha leh shuruudo sax ah oo sarreeya, laakiin kharashka qalabku waa mid sarreeya.
4. Qalabka Uumiga Kiimikada (CVD): Waxay ku samaysaa filimo khafiif ah oogada maaddada substrate-ka iyada oo loo marayo fal-celin kiimikaad. Habkani wuxuu diyaarin karaa tayo sare leh, filimaan noocyo badan leh, laakiin qalabku waa mid adag oo qaali ah.
5. Qalabka Molecular Beam Epitaxy (MBE): Tani waa habka lagu xakameynayo koritaanka filimada khafiifka ah ee heerka atomiga waxaana inta badan loo isticmaalaa diyaarinta lakabyo khafiif ah oo khafiif ah iyo qaabab isku dhafan oo loogu talagalay codsiyada semiconductor iyo nanotechnology.
6. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD): Tani waa farsamo isticmaala balasmaha si kor loogu qaado dhigista filimada khafiifka ah by falcelin kiimikaad, u ogolaanaya in si degdeg ah samaynta filimada khafiif ah heerkulka hoose.
7. Qalabka Laser Deposition (PLD): Kuwani waxay isticmaalaan garaaca laser tamarta sare leh si ay u garaacaan bartilmaameedka, walxaha ka soo baxa dusha bartilmaameedka oo ay ku dhejiyaan substrate, waxayna ku habboon yihiin kobcinta tayada sare leh, filimada oksaydhka adag.
Mid kasta oo ka mid ah qalabkani wuxuu leeyahay sifooyin u gaar ah naqshadeynta iyo hawlgalka waxayna ku habboon yihiin codsiyada warshadaha kala duwan iyo meelaha cilmi-baarista. Iyadoo horumarinta tignoolajiyada, tignoolajiyada dahaarka faakuumku sidoo kale way horumaraysaa, iyo qalab cusub oo daahan vacuum ah ayaa sidoo kale soo baxaya.
–Maqaalkan waxa soo saaraymashiinka daahan vacuumsoo saaraha Guangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jun-12-2024