1. Tiknoolajiyada kaydinta biimka ee la kaalmeeyo waxaa lagu gartaa adhesion xoog leh oo u dhexeeya xuubka iyo substrate-ka, lakabka xuubka ayaa aad u xoogan. Tijaabooyinku waxay muujinayaan in: ion beam-caawin dhigaalka xabagta marka loo eego adhesion ee kaydinta uumiga kulaylka ayaa kordhay dhowr jeer ilaa boqollaal jeer, sababta ayaa inta badan sabab u ah bamka ion ee dusha sare ee saamaynta nadiifinta, si xuubka saldhigga xuubka si uu u sameeyo qaab dhismeedka isdhexgalka gradient, ama lakabka wareejinta isku-dhafka ah, iyo sidoo kale in la yareeyo walbahaarka xuubka.
2. Ion beam-ka-dhigista waxay hagaajin kartaa sifooyinka farsamada ee filimka, waxay kordhisaa nolosha daalka, oo aad ugu habboon diyaarinta oxides, carbides, cubic BN, TiB2, iyo dheeman u eg. Tusaale ahaan, in 1Cr18Ni9Ti birta kulaylka u adkaysta on isticmaalka tignoolajiyada dhigista ion-beam-caawiyay in ay koraan 200nm filimka Si3N4, ma aha oo kaliya in la xakameeyo karaa soo bixitaanka dildilaaca daal on dusha alaabta, laakiin sidoo kale si weyn u yaraynaysaa heerka daal dildifsion dildilaaca, si ay u kordhiso nolosheeda door wanaagsan.
3. Dhigista Ion beam-ka ee la caawiyey waxay bedeli kartaa dabeecadda walaaca ee filimka iyo qaab dhismeedka crystalline isbeddelo. Tusaale ahaan, diyaarinta filimka Cr oo leh 11.5keV Xe + ama Ar + duqaynta dusha sare ee substrate, waxay ogaatay in hagaajinta heerkulka substrate, tamarta ion bamka, ion iyo atomyada si loo gaaro saamiga cabbirada, waxay ka dhigi kartaa walbahaarka culeyska culeyska cadaadiska cadaadiska, qaabka crystalline ee filimka ayaa sidoo kale soo saari doona isbeddello. Marka loo eego saamiga imaatinka ion-to-atom ee cayiman, meel dhigista alwaaxda ion-ka ee la caawiyay ayaa leh hanuunin doorasho oo ka wanaagsan lakabka xuubka ee kaydiya kaydinta uumiga kulaylka.
4.Ion beam-ka caawiya dhigaalka waxay kor u qaadi kartaa iska caabbinta daxalka iyo caabbinta oksaydhka ee xuubka. Sababo la xiriira cufnaanta ion beam-caawiyey dhigista lakabka filimka, horumarinta qaab-dhismeedka interface saldhigga filimka ama formation of gobolka amorphous ay sababtay luminta xuduudaha hadhuudhka u dhexeeya qaybaha, kaas oo ku habboon kor u qaadida caabbinta daxalka ee alaabta iyo iska caabin oksaydhka heerkulka sare.
5. Dhigista Ion beam-ka caawisay waxay bedeli kartaa sifooyinka korantada ee filimka waxayna wanaajisaa waxqabadka filimada khafiifka ah ee indhaha.
6. Dhigista Ion-caawiyay waxay ogolaataa saxnaanta saxda ah oo madax-bannaanida xuduudaha la xidhiidha dejinta atomiga iyo ion implantation, waxayna u ogolaataa jiilka isdaba-joogga ah ee daahan ee dhowr micrometers oo leh halabuurka joogtada ah ee tamarta duqeynta hoose, si ay filimo khafiif ah oo kala duwan loo korin karo heerkulka qolka, ka fogaanshaha saameynta xun ee alaabta ama qaybaha saxda ah ee laga yaabo in ay keento daaweynta heerkulka sare.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jan-24-2024