Tehnologija vakuumskega nanašanja premazov je tehnologija, ki nanaša tankoslojne materiale na površino substratov v vakuumskem okolju in se pogosto uporablja v elektroniki, optiki, embalaži, dekoraciji in drugih področjih. Opremo za vakuumsko nanašanje premazov lahko v glavnem razdelimo na naslednje vrste:
1. Oprema za nanašanje premazov s termičnim izhlapevanjem: to je najbolj tradicionalna metoda vakuumskega nanašanja premazov, pri kateri se tankoslojni material segreje v izhlapevalnem čolnu, material pa se izhlapi in nanese na površino substrata.
2. Oprema za brizganje: z uporabo visokoenergijskih ionov, ki zadenejo površino ciljnega materiala, se atomi ciljnega materiala brizgajo in odlagajo na substrat. Magnetronsko brizganje omogoča enakomernejši in močnejši oprijem filma, primeren za masovno proizvodnjo.
3. Oprema za nanašanje z ionskim snopom: Ionski snopi se uporabljajo za nanašanje tankoplastnih materialov na podlago. Ta metoda omogoča pridobitev zelo enakomernih filmov in je primerna za primere z visokimi zahtevami po natančnosti, vendar so stroški opreme visoki.
4. Oprema za kemično nanašanje iz parne faze (CVD): S kemično reakcijo tvori tanke filme na površini substrata. Ta metoda omogoča pripravo visokokakovostnih večvrstnih filmov, vendar je oprema zapletena in draga.
5. Oprema za molekularno žarkovno epitaksijo (MBE): To je metoda za nadzor rasti tankih filmov na atomski ravni in se uporablja predvsem za pripravo ultra tankih plasti in večplastnih struktur za polprevodniške in nanotehnološke aplikacije.
6. Oprema za plazemsko izboljšano kemično nanašanje iz pare (PECVD): To je tehnika, ki uporablja plazmo za izboljšanje nanašanja tankih filmov s kemično reakcijo, kar omogoča hitro nastanek tankih filmov pri nižjih temperaturah.
7. Naprave za pulzno lasersko nanašanje (PLD): Te uporabljajo visokoenergijske laserske impulze za zadetek tarče, izhlapevanje materiala s površine tarče in njegovo nanašanje na substrat ter so primerne za gojenje visokokakovostnih, kompleksnih oksidnih filmov.
Vsaka od teh naprav ima svoje značilnosti v zasnovi in delovanju ter je primerna za različne industrijske aplikacije in raziskovalna področja. Z razvojem tehnologije se razvija tudi tehnologija vakuumskega nanašanja premazov, pojavlja pa se tudi nova oprema za vakuumsko nanašanje premazov.
–Ta članek je objavilstroj za vakuumsko premazovanjeproizvajalec Guangdong Zhenhua
Čas objave: 12. junij 2024