Na mehanske lastnosti membranske plasti vplivajo adhezija, napetost, gostota agregacije itd. Iz razmerja med materialom membranske plasti in procesnimi dejavniki je razvidno, da se moramo za izboljšanje mehanske trdnosti membranske plasti osredotočiti na naslednje procesne parametre:
(1) Raven vakuuma. Vpliv vakuuma na delovanje folije je zelo očiten. Večina kazalnikov delovanja plasti folije je zelo odvisna od ravni vakuuma. Običajno se z naraščajočo stopnjo vakuuma poveča gostota agregacije folije, poveča se čvrstost, izboljša se struktura folije, kemična sestava postane čistejša, hkrati pa se poveča tudi napetost.
(2) Hitrost nanašanja. Izboljšanje hitrosti nanašanja ne more le izboljšati hitrosti izhlapevanja, torej povečati temperature vira izhlapevanja, temveč tudi povečati površino vira izhlapevanja. Vendar ima uporaba vira izhlapevanja za povečanje temperature svoje pomanjkljivosti: napetost membranske plasti je prevelika, plin, ki tvori film, pa se zlahka razgradi. Zato je včasih ugodneje povečati površino vira izhlapevanja kot izboljšati temperaturo vira izhlapevanja.
(3) temperatura substrata. Zvišanje temperature substrata ugodno vpliva na adsorpcijo preostalih molekul plina na površini substrata, kar poveča silo vezave med nanesenimi molekulami na substrat in hkrati spodbudi pretvorbo fizikalne adsorpcije v kemično adsorpcijo, okrepi interakcijo med molekulami in tako zagotovi tesnost membranske plasti. Na primer, segrevanje substrata z Mg membrano na 250 ~ 300 ℃ lahko zmanjša notranje napetosti, izboljša gostoto agregacije in poveča trdoto membranske plasti: segrevanje substrata na 120 ~ 150 ℃ za večplastno membrano ZrO3-SiO2 znatno poveča mehansko trdnost, vendar previsoka temperatura substrata povzroči poslabšanje membranske plasti.
(4) Ionsko bombardiranje. Ionsko bombardiranje vpliva na nastanek visoko kohezivnih površin, hrapavost površine, oksidacijo in gostoto agregacije. Bombardiranje pred nanosom lahko očisti površino in poveča oprijem; bombardiranje po nanosu lahko izboljša gostoto agregacije filmske plasti itd., s čimer se poveča mehanska trdnost in trdota.
(5) Čiščenje podlage. Če metoda čiščenja podlage ni ustrezna ali ni čista, lahko ostanki nečistoč ali čistil v podlagi povzročijo novo onesnaženje, kar povzroči različne pogoje kohezije in oprijema v premazu, kar vpliva na strukturne lastnosti in optično debelino prve plasti, hkrati pa povzroči, da se filmska plast zlahka odlepi od podlage, kar spremeni njene lastnosti.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 4. maj 2024