1. Za tehnologijo nanašanja z ionskim žarkom je značilna močna adhezija med membrano in podlago, membranska plast pa je zelo močna. Poskusi kažejo, da se adhezija pri nanašanju z ionskim žarkom večkrat do več stokrat poveča v primerjavi z adhezijo pri termičnem nanašanju s paro, predvsem zaradi čistilnega učinka ionskega bombardiranja na površini, tako da se na membranski osnovi tvori gradientna medfazna struktura ali hibridna prehodna plast, kar zmanjša napetost membrane.
2. Nanašanje z ionskim žarkom lahko izboljša mehanske lastnosti filma in podaljša življenjsko dobo utrujenosti, kar je zelo primerno za pripravo oksidov, karbidov, kubičnega BN, TiB2 in diamantom podobnih prevlek. Na primer, pri toplotno odpornem jeklu 1Cr18Ni9Ti, pri uporabi tehnologije nanašanja z ionskim žarkom za rast 200 nm filma Si3N4, ne le prepreči nastanek utrujenostnih razpok na površini materiala, ampak tudi znatno zmanjša hitrost širjenja utrujenostnih razpok in s tem podaljša življenjsko dobo.
3. Nanašanje z ionskim žarkom lahko spremeni naravo napetosti v filmu in spremeni njegovo kristalno strukturo. Na primer, pri pripravi Cr filma z bombardiranjem površine substrata z Xe+ ali Ar+ pri 11,5 keV je bilo ugotovljeno, da lahko s prilagajanjem temperature substrata, energije bombardiranja z ioni, ioni in atomi dosežemo določeno razmerje parametrov, napetost pa se spremeni iz natezne v tlačno napetost, kar povzroči tudi spremembe v kristalni strukturi filma. Pri določenem razmerju med prihodom ionov in atomov ima nanašanje z ionskim žarkom boljšo selektivno orientacijo kot membranska plast, nanešena s termičnim nanašanjem pare.
4. Nanašanje z ionskim žarkom lahko izboljša odpornost membrane proti koroziji in oksidaciji. Zaradi gostote filmske plasti, nanešene z ionskim žarkom, se izboljša struktura vmesnika osnovne folije ali nastane amorfno stanje zaradi izginotja meja zrn med delci, kar prispeva k povečanju korozijske odpornosti materiala in odpornosti na oksidacijo pri visokih temperaturah.
5. Nanašanje z ionskim žarkom lahko spremeni elektromagnetne lastnosti filma in izboljša delovanje tankih optičnih filmov.
6. Ionsko podprto nanašanje omogoča natančno in neodvisno prilagajanje parametrov, povezanih z atomskim nanašanjem in ionsko implantacijo, ter omogoča zaporedno ustvarjanje prevlek velikosti nekaj mikrometrov z dosledno sestavo pri nizkih energijah bombardiranja, tako da je mogoče pri sobni temperaturi gojiti različne tanke filme, s čimer se izognemo škodljivim učinkom na materiale ali precizne dele, ki jih lahko povzroči njihova obdelava pri povišanih temperaturah.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 24. januar 2024