Tehnologija CVD prevleke ima naslednje značilnosti:
1. Postopek delovanja CVD opreme je relativno preprost in prilagodljiv ter omogoča pripravo enojnih ali kompozitnih filmov in zlitin z različnimi razmerji;
2. CVD prevleka ima široko paleto uporabe in se lahko uporablja za pripravo različnih kovinskih ali kovinskih filmskih prevlek;
3. Visoka proizvodna učinkovitost zaradi hitrosti nanašanja od nekaj mikronov do stotin mikronov na minuto;
4. V primerjavi z metodo PVD ima CVD boljše difrakcijske lastnosti in je zelo primeren za nanašanje premazov na substrate kompleksnih oblik, kot so utori, prevlečene luknje in celo strukture slepih lukenj. Premaz se lahko nanese v film z dobro kompaktnostjo. Zaradi visoke temperature med postopkom oblikovanja filma in močnega oprijema na vmesniku med filmom in substratom je plast filma zelo trdna.
5. Škoda, ki jo povzroči sevanje, je relativno nizka in jo je mogoče integrirati s procesi integriranih vezij MOS.
——Ta članek je objavila založba Guangdong Zhenhua,proizvajalec strojev za vakuumsko lakiranje
Čas objave: 29. marec 2023