Mechanické vlastnosti membránovej vrstvy sú ovplyvnené adhéziou, napätím, hustotou agregácie atď. Zo vzťahu medzi materiálom membránovej vrstvy a procesnými faktormi vyplýva, že ak chceme zlepšiť mechanickú pevnosť membránovej vrstvy, mali by sme sa zamerať na nasledujúce procesné parametre:
(1) úroveň vákua. Vplyv vákua na výkonnosť fólie je veľmi zrejmý. Väčšina ukazovateľov výkonnosti vrstvy fólie je veľmi závislá od úrovne vákua. Zvyčajne sa so zvyšujúcim sa stupňom vákua zvyšuje hustota agregácie fólie, zvyšuje sa jej pevnosť, zlepšuje sa jej štruktúra, chemické zloženie sa čistí, ale zároveň sa zvyšuje aj napätie.
(2) Rýchlosť nanášania. Zlepšenie rýchlosti nanášania sa dá použiť nielen na zlepšenie rýchlosti odparovania, teda na zvýšenie teploty zdroja odparovania, ale aj na zvýšenie plochy zdroja odparovania. Použitie zdroja odparovania na zvýšenie teploty má však svoje nevýhody: napätie membránovej vrstvy je príliš veľké; filmotvorný plyn sa ľahko rozkladá. Preto je niekedy výhodnejšie zvýšiť plochu zdroja odparovania ako zlepšiť teplotu zdroja odparovania.
(3) teplota substrátu. Zvýšenie teploty substrátu prispieva k adsorpcii zostávajúcich molekúl plynu na povrchu substrátu, čím sa zvyšuje väzbová sila medzi nanesenými molekulami na substrát a zároveň sa podporuje premena fyzikálnej adsorpcie na chemickú adsorpciu, zvyšuje sa interakcia medzi molekulami a štruktúra membránovej vrstvy je pevná. Napríklad, zahriatie substrátu Mg na 250 ~ 300 ℃ môže znížiť vnútorné napätie, zlepšiť hustotu agregácie a zvýšiť tvrdosť membránovej vrstvy: zahriatie substrátu na 120 ~ 150 ℃ pripravenej viacvrstvovej membrány ZrO3-SiO2 výrazne zvyšuje mechanickú pevnosť, ale príliš vysoká teplota substrátu spôsobuje zhoršenie membránovej vrstvy.
(4) Iónové bombardovanie. Iónové bombardovanie má vplyv na tvorbu vysoko súdržných povrchov, drsnosť povrchu, oxidáciu a hustotu agregácie. Bombardovanie pred nanášaním povlaku môže vyčistiť povrch a zvýšiť priľnavosť; bombardovanie po nanášaní povlaku môže zlepšiť hustotu agregácie vrstvy filmu atď., čím sa zvyšuje mechanická pevnosť a tvrdosť.
(5) Čistenie substrátu. Ak je metóda čistenia substrátu nevhodná alebo nie je čistá, zvyškové nečistoty alebo čistiace prostriedky v substráte môžu spôsobiť nové znečistenie, čo vedie k rôznym podmienkam súdržnosti a priľnavosti v nátere, čo ovplyvňuje štrukturálne vlastnosti a optickú hrúbku prvej vrstvy a tiež spôsobuje, že sa fólia ľahko oddeľuje od substrátu, čím sa menia jej vlastnosti.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 4. mája 2024