රික්ත ආලේපන තාක්ෂණය යනු ඉලෙක්ට්රොනික, දෘෂ්ටි විද්යාව, ඇසුරුම්කරණය, සැරසිලි සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වන රික්ත පරිසරය යටතේ උපස්ථර ද්රව්ය මතුපිටට තුනී පටල ද්රව්ය තැන්පත් කරන තාක්ෂණයකි. රික්ත ආලේපන උපකරණ ප්රධාන වශයෙන් පහත වර්ගවලට බෙදිය හැකිය:
1. තාප වාෂ්පීකරණ ආලේපන උපකරණ: මෙය වඩාත් සාම්ප්රදායික රික්ත ආලේපන ක්රමයයි, වාෂ්පීකරණ බෝට්ටුවේ තුනී පටල ද්රව්ය රත් කිරීමෙන්, ද්රව්යය වාෂ්ප වී උපස්ථර ද්රව්යයේ මතුපිටට තැන්පත් වේ.
2. ඉසින ආලේපන උපකරණ: ඉලක්කගත ද්රව්යයේ මතුපිටට පහර දීම සඳහා අධි ශක්ති අයන භාවිතා කරමින්, ඉලක්කගත ද්රව්ය පරමාණු ඉසිනු ලැබ උපස්ථර ද්රව්යයට තැන්පත් කරනු ලැබේ. මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් මගින් මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා සුදුසු පටලයේ වඩාත් ඒකාකාර සහ ශක්තිමත් ඇලවීමක් ලබා ගැනීමට හැකි වේ.
3. අයන කදම්භ තැන්පත් කිරීමේ උපකරණ: උපස්ථරය මත තුනී පටල ද්රව්ය තැන්පත් කිරීම සඳහා අයන කදම්භ භාවිතා කරයි. මෙම ක්රමය ඉතා ඒකාකාර පටල ලබා ගත හැකි අතර ඉහළ නිරවද්යතා අවශ්යතා ඇති අවස්ථාවන් සඳහා සුදුසු වේ, නමුත් උපකරණ පිරිවැය ඉහළ ය.
4. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) උපකරණ: රසායනික ප්රතික්රියාවක් හරහා උපස්ථර ද්රව්යයේ මතුපිට තුනී පටල සාදයි. මෙම ක්රමය මඟින් උසස් තත්ත්වයේ, බහු-විශේෂ පටල සකස් කළ හැකි නමුත් උපකරණ සංකීර්ණ හා මිල අධිකය.
5. අණුක කදම්භ එපිටැක්සි (MBE) උපකරණ: මෙය පරමාණුක මට්ටමින් තුනී පටලවල වර්ධනය පාලනය කිරීමේ ක්රමයක් වන අතර අර්ධ සන්නායක සහ නැනෝ තාක්ෂණ යෙදුම් සඳහා අතිශය තුනී ස්ථර සහ බහු ස්ථර ව්යුහයන් සකස් කිරීම සඳහා ප්රධාන වශයෙන් භාවිතා වේ.
6. ප්ලාස්මා වැඩිදියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PECVD) උපකරණ: මෙය රසායනික ප්රතික්රියාවක් මගින් තුනී පටල තැන්පත් කිරීම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ප්ලාස්මා භාවිතා කරන තාක්ෂණයකි, එමඟින් අඩු උෂ්ණත්වවලදී තුනී පටල වේගයෙන් සෑදීමට ඉඩ සලසයි.
7. ස්පන්දන ලේසර් තැන්පත් කිරීමේ (PLD) උපාංග: මේවා ඉලක්කයකට පහර දීමට අධි ශක්ති ලේසර් ස්පන්දන භාවිතා කරයි, ඉලක්ක මතුපිටින් ද්රව්ය වාෂ්ප කර උපස්ථරයක් මත තැන්පත් කරයි, සහ උසස් තත්ත්වයේ, සංකීර්ණ ඔක්සයිඩ් පටල වැඩීමට සුදුසු වේ.
මෙම සෑම උපාංගයක්ම සැලසුම් සහ ක්රියාකාරිත්වයේ තමන්ගේම ලක්ෂණ ඇති අතර විවිධ කාර්මික යෙදුම් සහ පර්යේෂණ ක්ෂේත්ර සඳහා සුදුසු වේ. තාක්ෂණයේ දියුණුවත් සමඟ රික්ත ආලේපන තාක්ෂණය ද දියුණු වෙමින් පවතින අතර නව රික්ත ආලේපන උපකරණ ද මතුවෙමින් තිබේ.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්රයනිෂ්පාදකයා Guangdong Zhenhua
පළ කිරීමේ කාලය: 2024 ජූනි-12