فلم پرت جي مشيني طاقت کي بهتر بڻائڻ جا طريقا

جھلي جي پرت جون مشيني خاصيتون چپکڻ، دٻاءُ، مجموعي کثافت وغيره کان متاثر ٿين ٿيون. جھلي جي پرت جي مواد ۽ عمل جي عنصرن جي وچ ۾ تعلق مان، اهو ڏسي سگهجي ٿو ته جيڪڏهن اسان جھلي جي پرت جي مشيني طاقت کي بهتر بڻائڻ چاهيون ٿا، ته اسان کي هيٺين عمل جي پيرا ميٽرز تي ڌيان ڏيڻ گهرجي:

(1) ويڪيوم ليول. فلم جي ڪارڪردگي تي ويڪيوم تمام واضح آهي. فلم پرت جا گھڻا ڪارڪردگي اشارا ويڪيوم ليول تي تمام گهڻو منحصر آهن. عام طور تي، جيئن ويڪيوم جي ڊگري وڌندي آهي، فلم جي مجموعي کثافت وڌي ويندي آهي، مضبوطي وڌندي آهي، فلم جي جوڙجڪ بهتر ٿيندي آهي، ڪيميائي ساخت خالص ٿي ويندي آهي، پر ساڳئي وقت دٻاءُ پڻ وڌي ويندو آهي.

(2) جمع ڪرڻ جي شرح. جمع ڪرڻ جي شرح کي بهتر ڪرڻ سان نه رڳو بخارات جي شرح کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو، يعني، بخارات جي ذريعن جي گرمي پد کي وڌائڻ لاءِ، ۽ حاصل ڪرڻ لاءِ بخارات جي ذريعن جي علائقي جي طريقي کي وڌائڻ لاءِ پڻ استعمال ڪري سگهجي ٿو، پر بخارات جي ذريعن جي طريقي جي حرارت کي وڌائڻ لاءِ استعمال ڪرڻ جا پنهنجا نقصان آهن: جھلي جي پرت جو دٻاءُ تمام وڏو آهي؛ فلم ٺاهڻ واري گئس کي ختم ڪرڻ آسان آهي. تنهن ڪري ڪڏهن ڪڏهن بخارات جي ذريعن جي علائقي کي وڌائڻ بدران بخارات جي ذريعن جي درجه حرارت کي بهتر بڻائڻ وڌيڪ سازگار آهي.

(3) سبسٽريٽ جو گرمي پد. سبسٽريٽ جي گرمي پد کي وڌائڻ سان باقي گئس ماليڪيولز جي سبسٽريٽ مٿاڇري تي جذب ڪرڻ لاءِ سازگار آهي، سبسٽريٽ کي وڌايو ۽ جمع ٿيل ماليڪيولز جي وچ ۾ پابند قوت: ساڳئي وقت جسماني جذب کي ڪيميائي جذب ۾ تبديل ڪرڻ کي فروغ ڏيندو، ماليڪيولز جي وچ ۾ رابطي کي وڌائيندو، ته جيئن جھلي جي پرت جي جوڙجڪ تنگ هجي. مثال طور، Mg، جھلي، سبسٽريٽ کي 250 ~ 300 ℃ تائين گرم ڪرڻ اندروني دٻاءُ کي گهٽائي سگھي ٿو، مجموعي کثافت کي بهتر بڻائي سگھي ٿو، جھلي جي پرت جي سختي کي وڌائي سگھي ٿو: سبسٽريٽ کي 120 ~ 150 ℃ تائين گرم ڪرڻ سان تيار ڪيل Zr03-Si02، ملٽي ليئر جھلي، ان جي ميڪيڪل طاقت تمام گهڻي وڌي وئي، پر سبسٽريٽ جو گرمي پد تمام گهڻو آهي جھلي جي پرت جي خراب ٿيڻ جو سبب بڻجندو.

(4) آئن بمباري. آئن بمباري جو اثر انتهائي مربوط مٿاڇري جي ٺهڻ، مٿاڇري جي خرابي، آڪسائيڊيشن ۽ مجموعي کثافت تي پوي ٿو. ڪوٽنگ کان اڳ بمباري مٿاڇري کي صاف ڪري سگهي ٿي ۽ چپکڻ کي وڌائي سگهي ٿي؛ ڪوٽنگ کان پوءِ بمباري فلم جي پرت جي مجموعي کثافت وغيره کي بهتر بڻائي سگهي ٿي، اهڙي طرح ميڪيڪل طاقت ۽ سختي وڌي ٿي.

(5) سبسٽريٽ جي صفائي. سبسٽريٽ جي صفائي جو طريقو مناسب نه آهي يا صاف ناهي، سبسٽريٽ ۾ باقي نجاست يا صفائي ڪندڙ ايجنٽ، پوءِ نئين آلودگي جو سبب بڻجن ٿا، ڪوٽنگ ۾ مختلف هم آهنگي ۽ چپکڻ جي حالتن جي ڪري، پهرين پرت جي ساخت جي خاصيتن ۽ آپٽيڪل ٿلهي کي متاثر ڪري ٿو، پر فلم جي پرت کي سبسٽريٽ مان نڪرڻ آسان بڻائي ٿو، اهڙي طرح فلم جي پرت جي خاصيتن کي تبديل ڪري ٿو.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا