1. آئن بيم جي مدد سان جمع ٿيندڙ ٽيڪنالاجي جھلي ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ مضبوط چپکڻ جي خاصيت رکي ٿي، جھلي جي پرت تمام مضبوط آهي. تجربا ڏيکارين ٿا ته: آئن بيم جي مدد سان جمع ٿيندڙ چپکڻ جي حرارتي بخار جي جمع ٿيڻ جي چپکڻ جي ڀيٽ ۾ ڪيترائي ڀيرا سوين ڀيرا وڌي وئي آهي، ان جو سبب بنيادي طور تي صفائي جي اثر جي مٿاڇري تي آئن بمباري آهي، ته جيئن جھلي جو بنياد انٽرفيس هڪ گريڊينٽ انٽرفيشل ڍانچي، يا هائبرڊ منتقلي پرت ٺاهي، انهي سان گڏ جھلي جي دٻاءُ کي گهٽائڻ لاءِ.
2. آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ فلم جي ميڪيڪل خاصيتن کي بهتر بڻائي سگھي ٿو، ٿڪاوٽ جي زندگي کي وڌائي سگھي ٿو، آڪسائيڊ، ڪاربائڊ، ڪيوبڪ BN، TiB2، ۽ هيرن جهڙي ڪوٽنگ جي تياري لاءِ تمام مناسب آهي. مثال طور، 1Cr18Ni9Ti گرمي مزاحمتي اسٽيل ۾ آئن-بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي استعمال تي 200nm Si3N4 فلم کي وڌائڻ لاءِ، نه رڳو مواد جي مٿاڇري تي ٿڪاوٽ جي دراڙن جي ظاهر ٿيڻ کي روڪي سگھي ٿو، پر ٿڪاوٽ جي دراڙ جي پکيڙ جي شرح کي به گهٽائي سگھي ٿو، ان جي زندگي کي وڌائڻ لاءِ هڪ سٺو ڪردار ادا ڪري ٿو.
3. آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ سان فلم جي دٻاءُ جي نوعيت ۽ ان جي ڪرسٽل جي جوڙجڪ ۾ تبديلي اچي سگهي ٿي. مثال طور، 11.5keV Xe + يا سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي Ar + بمباري سان Cr فلم جي تياري، اهو معلوم ٿيو ته سبسٽريٽ جي درجه حرارت، بمباري آئن توانائي، آئن ۽ ايٽم جي ترتيب پيرا ميٽرز جي تناسب تائين پهچڻ لاءِ، ٽينسل اسٽريس کان ڪمپريسيو اسٽريس تائين دٻاءُ پيدا ڪري سگهي ٿي، فلم جي ڪرسٽل جي جوڙجڪ پڻ تبديليون پيدا ڪندي. هڪ خاص آئن کان ايٽم جي آمد جي تناسب جي تحت، آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ ۾ تھرمل وانپ جمع ڪرڻ ذريعي جمع ٿيل جھلي جي پرت کان بهتر چونڊ رخ هوندو آهي.
4. آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جھلي جي سنکنرن جي مزاحمت ۽ آڪسائيڊشن جي مزاحمت کي وڌائي سگھي ٿو. فلم پرت جي آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جي کثافت جي ڪري، فلم بيس انٽرفيس جي جوڙجڪ ۾ بهتري يا ذرڙن جي وچ ۾ اناج جي حدن جي غائب ٿيڻ جي ڪري بي شڪل حالت جي ٺهڻ، جيڪا مواد جي سنکنرن جي مزاحمت کي وڌائڻ ۽ اعلي درجه حرارت جي آڪسائيڊشن جي مزاحمت لاءِ سازگار آهي.
5. آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ فلم جي برقي مقناطيسي خاصيتن کي تبديل ڪري سگھي ٿو ۽ آپٽيڪل پتلي فلمن جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگھي ٿو.
6. آئن جي مدد سان جمع ڪرڻ سان ايٽمي جمع ڪرڻ ۽ آئن امپلانٽيشن سان لاڳاپيل پيرا ميٽرز جي صحيح ۽ آزاد ترتيب جي اجازت ڏئي ٿي، ۽ گهٽ بمباري توانائي تي مسلسل ساخت سان ڪجهه مائڪرو ميٽرز جي ڪوٽنگن جي مسلسل پيداوار جي اجازت ڏئي ٿي، ته جيئن مختلف پتلي فلمون ڪمري جي حرارت تي وڌي سگهن، مواد يا درست حصن تي خراب اثرن کان بچي سگهجي جيڪي انهن کي بلند درجه حرارت تي علاج ڪرڻ سبب ٿي سگهن ٿا.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: جنوري-24-2024