Технология вакуумного покрытия представляет собой технологию нанесения тонкопленочных материалов на поверхность подложки в условиях вакуума, которая широко используется в электронике, оптике, упаковке, декорировании и других областях. Оборудование для вакуумного покрытия можно разделить на следующие основные типы:
1. Оборудование для нанесения покрытий методом термического испарения: это наиболее традиционный метод нанесения покрытий в вакууме, при котором путем нагревания тонкопленочного материала в испарительной лодочке материал испаряется и осаждается на поверхность материала подложки.
2. Оборудование для нанесения покрытия распылением: используя высокоэнергетические ионы для удара по поверхности целевого материала, атомы целевого материала распыляются и осаждаются на материал подложки. Магнетронное распыление позволяет получить более равномерную и прочную адгезию пленки, подходящую для массового производства.
3. Оборудование для ионно-лучевого осаждения: Ионные пучки используются для осаждения тонкопленочных материалов на подложку. Этот метод позволяет получать очень однородные пленки и подходит для случаев с высокими требованиями к точности, но стоимость оборудования высока.
4. Оборудование для химического осаждения из паровой фазы (CVD): формирует тонкие пленки на поверхности материала подложки посредством химической реакции. Этот метод позволяет получать высококачественные многовидовые пленки, но оборудование является сложным и дорогим.
5. Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ): это метод управления ростом тонких пленок на атомном уровне, который в основном используется для подготовки сверхтонких слоев и многослойных структур для полупроводниковых и нанотехнологических приложений.
6. Оборудование для плазменно-химического осаждения из паровой фазы (PECVD): это метод, который использует плазму для улучшения осаждения тонких пленок посредством химической реакции, что позволяет быстро формировать тонкие пленки при более низких температурах.
7. Устройства импульсного лазерного осаждения (PLD): они используют высокоэнергетические лазерные импульсы для воздействия на цель, испарения материала с поверхности цели и осаждения его на подложку и подходят для выращивания высококачественных сложных оксидных пленок.
Каждое из этих устройств имеет свои особенности в конструкции и эксплуатации и подходит для различных промышленных применений и областей исследований. С развитием технологий, технология вакуумного покрытия также совершенствуется, и появляется новое вакуумное оборудование для нанесения покрытий.
–Эта статья опубликованавакуумная напылительная машинапроизводитель Гуандун Чжэньхуа
Время публикации: 12 июня 2024 г.