На механические свойства мембранного слоя влияют адгезия, напряжение, плотность агрегации и т. д. Из соотношения между материалом мембранного слоя и технологическими факторами видно, что если мы хотим улучшить механическую прочность мембранного слоя, нам следует сосредоточиться на следующих технологических параметрах:
(1) уровень вакуума. Влияние вакуума на производительность пленки очень очевидно. Большинство показателей производительности слоя пленки очень зависят от уровня вакуума. Обычно, с увеличением степени вакуума увеличивается плотность агрегации пленки, увеличивается твердость, улучшается структура пленки, химический состав становится чистым, но в то же время увеличивается и напряжение.
(2) Скорость осаждения. Улучшение скорости осаждения может быть использовано не только для улучшения скорости испарения, то есть, увеличения подхода к температуре источника испарения, также может быть использовано для увеличения подхода к площади источника испарения для достижения, но использование источника испарения для увеличения температуры подхода имеет свои недостатки: делает напряжение мембранного слоя слишком большим; пленкообразующий газ легко разлагается. Поэтому иногда увеличение площади источника испарения, чем улучшение температуры источника испарения, является более благоприятным.
(3) температура подложки. Повышение температуры подложки способствует адсорбции на поверхности подложки оставшихся молекул газа, чтобы исключить, увеличить подложку и силу связи между осажденными молекулами: в то же время будет способствовать преобразованию физической адсорбции в химическую адсорбцию, усилит взаимодействие между молекулами, так что структура мембранного слоя будет плотной. Например, Mg, мембрана, нагрев подложки до 250 ~ 300 ℃ может уменьшить внутреннее напряжение, улучшить плотность агрегации, увеличить твердость мембранного слоя: нагрев подложки до 120 ~ 150 ℃ подготовил Zr03-Si02, многослойную мембрану, ее механическая прочность значительно увеличилась, но слишком высокая температура подложки приведет к ухудшению мембранного слоя.
(4) Ионная бомбардировка. Ионная бомбардировка влияет на формирование высококогезионных поверхностей, шероховатости поверхности, окисления и плотности агрегации. Бомбардировка перед нанесением покрытия может очистить поверхность и повысить адгезию; бомбардировка после нанесения покрытия может улучшить плотность агрегации пленочного слоя и т. д., тем самым повышая механическую прочность и твердость.
(5) Очистка подложки. Метод очистки подложки не подходит или не чистит ее, в подложке остаются примеси или чистящее средство, что приводит к новому загрязнению, в покрытии возникают различные условия сцепления и адгезии, что влияет на структурные свойства и оптическую толщину первого слоя, а также приводит к тому, что слой пленки легко отслаивается от подложки, тем самым изменяя характеристики слоя пленки.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 04-05-2024