د غشا طبقې میخانیکي ځانګړتیاوې د چپکولو، فشار، راټولولو کثافت، او داسې نورو لخوا اغیزمن کیږي. د غشا طبقې موادو او د پروسې فکتورونو ترمنځ اړیکې څخه، دا لیدل کیدی شي چې که موږ غواړو د غشا طبقې میخانیکي ځواک ښه کړو، موږ باید د لاندې پروسې پیرامیټرو باندې تمرکز وکړو:
(۱) د خلا کچه. د فلم په فعالیت باندې د خلا اغیزه ډیره څرګنده ده. د فلم طبقې د فعالیت ډیری شاخصونه د خلا په کچه پورې اړه لري. معمولا، لکه څنګه چې د خلا درجه لوړیږي، د فلم راټولولو کثافت زیاتیږي، ټینګښت زیاتیږي، د فلم جوړښت ښه کیږي، کیمیاوي جوړښت پاک کیږي، مګر په ورته وخت کې فشار هم زیاتیږي.
(۲) د زیرمو کچه. د زیرمو کچه ښه کول نه یوازې د تبخیر د کچې د ښه کولو لپاره کارول کیدی شي، دا د تبخیر سرچینې د تودوخې طریقې ته وده ورکول دي، د تبخیر سرچینې ساحې طریقې ته وده ورکولو لپاره هم کارول کیدی شي ترڅو ترلاسه شي، مګر د طریقې د تودوخې د زیاتوالي لپاره د تبخیر سرچینې کارول خپلې نیمګړتیاوې لري: د غشا طبقې فشار ډیر لوی کول؛ د فلم جوړونکي ګاز تجزیه کول اسانه دي. نو ځینې وختونه د تبخیر سرچینې ساحه زیاته کړئ د تبخیر سرچینې تودوخې ته وده ورکولو په پرتله ډیر مناسب دی.
(۳) د سبسټریټ تودوخه. د سبسټریټ تودوخه لوړول د پاتې ګاز مالیکولونو د سبسټریټ سطحې جذب لپاره مناسب دي ترڅو خارج شي، سبسټریټ او د زیرمه شوي مالیکولونو ترمنځ د تړلو ځواک زیات کړي: په ورته وخت کې به د کیمیاوي جذب ته د فزیکي جذب بدلون ته وده ورکړي، د مالیکولونو ترمنځ تعامل ته وده ورکړي، ترڅو د جھلی طبقه جوړښت سخت وي. د مثال په توګه، Mg، جھلی، د سبسټریټ تودوخه 250 ~ 300 ℃ ته کولی شي داخلي فشار کم کړي، د راټولولو کثافت ښه کړي، د جھلی طبقې سختۍ زیاته کړي: د سبسټریټ تودوخه 120 ~ 150 ℃ ته چمتو شوی Zr03-Si02، څو پرتې جھلی، د هغې میخانیکي ځواک ډیر زیات شوی، مګر د سبسټریټ تودوخه ډیره لوړه ده چې د جھلی طبقې خرابیدو لامل کیږي.
(۴) د ایون بمباري. د ایون بمباري د خورا منسجمو سطحو په جوړښت، د سطحې ناهموارۍ، اکسیډیشن او د راټولولو کثافت باندې اغیزه لري. د پوښ کولو دمخه بمباري کولی شي سطحه پاکه کړي او چپکتیا زیاته کړي؛ د پوښ کولو وروسته بمباري کولی شي د فلم طبقې راټولولو کثافت او داسې نور ښه کړي، پدې توګه میخانیکي ځواک او سختۍ زیاتوي.
(۵) د سبسټریټ پاکول. د سبسټریټ پاکولو طریقه مناسبه نه ده یا پاکه نه ده، د سبسټریټ پاتې شوني یا د پاکولو اجنټ، بیا د نوي ککړتیا لامل کیږي، په کوټ کې د مختلفو همغږۍ شرایطو او چپکولو سره، د ساختماني ملکیتونو او نظری ضخامت لومړۍ طبقه اغیزه کوي، مګر د فلم طبقه هم د سبسټریټ څخه راوتل اسانه کوي، پدې توګه د فلم طبقې ځانګړتیاوې بدلوي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: می-۰۴-۲۰۲۴