۱. د ایون بیم په مرسته د جمع کولو ټیکنالوژي د غشا او سبسټریټ ترمنځ د قوي چپکولو لخوا مشخص کیږي، د غشا طبقه ډیره قوي ده. تجربې ښیي چې: د حرارتي بخار جمع کولو په پرتله د ایون بیم په مرسته د چپکولو جمع کول څو ځله زیات شوي او سلګونو ځله زیات شوي، دلیل یې په عمده توګه د پاکولو اغیزې په سطحه د ایون بمبارۍ له امله دی، ترڅو د غشا اساس د تدریجي انټرفیسیل جوړښت، یا هایبرډ لیږد طبقه، او همدارنګه د غشا فشار کمولو لپاره.
2. د ایون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د فلم میخانیکي ملکیتونه ښه کړي، د ستړیا ژوند اوږد کړي، د اکسایډونو، کاربایډونو، مکعب BN، TiB2، او الماس په څیر پوښونو چمتو کولو لپاره خورا مناسب دی. د مثال په توګه، په 1Cr18Ni9Ti کې د تودوخې مقاومت لرونکي فولادو کې د 200nm Si3N4 فلم د ودې لپاره د آیون بیم په مرسته جمع کولو ټیکنالوژۍ کارول، نه یوازې د موادو په سطحه د ستړیا درزونو رامینځته کیدو مخه نیسي، بلکه د ستړیا درز خپریدو کچه هم د پام وړ کموي، د هغې د ژوند اوږدولو لپاره ښه رول لري.
۳. د ایون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د فلم فشار طبیعت بدل کړي او د هغې کرسټالین جوړښت بدل کړي. د مثال په توګه، د 11.5keV Xe + یا د سبسټریټ سطحې Ar + بمبارۍ سره د Cr فلم چمتو کول، وموندله چې د سبسټریټ تودوخې تنظیم کول، د ایون انرژي بمبارۍ، ایونونه او اتومونه د پیرامیټرو تناسب ته رسیدو لپاره، کولی شي فشار د تناسلي فشار څخه کمپرسی فشار ته ورسوي، د فلم کرسټالین جوړښت به هم بدلونونه رامینځته کړي. د یو ځانګړي ایون څخه اتوم ته د رسیدو تناسب لاندې، د ایون بیم په مرسته جمع کول د تودوخې بخار جمع کولو لخوا جمع شوي غشا طبقې په پرتله غوره انتخابي سمت لري.
۴. د ایون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د غشا د زنګ مقاومت او اکسیډیشن مقاومت ته وده ورکړي. د فلم طبقې د ایون بیم په مرسته جمع کولو کثافت له امله، د فلم اساس انٹرفیس جوړښت ښه والی یا د ذراتو ترمنځ د غلو دانو د حدودو د ورکیدو له امله د بې شکل حالت رامینځته کول، کوم چې د موادو د زنګ مقاومت لوړولو او د لوړې تودوخې د اکسیډیشن مقاومت لپاره مناسب دی.
۵. د ایون بیم په مرسته زیرمه کول کولی شي د فلم الکترومقناطیسي ځانګړتیاوې بدلې کړي او د نظري پتلو فلمونو فعالیت ښه کړي.
۶. د ایون په مرسته جمع کول د اټومي جمع کولو او د ایون امپلانټیشن پورې اړوند پیرامیټرونو دقیق او خپلواک تنظیم ته اجازه ورکوي، او د ټیټ بمبارۍ انرژۍ کې د دوامداره جوړښت سره د څو مایکرومیټرونو د پرله پسې کوټینګونو تولید ته اجازه ورکوي، ترڅو مختلف پتلي فلمونه د خونې په تودوخه کې وده وکړي، په موادو یا دقیق برخو باندې د منفي اغیزو څخه مخنیوی وکړي چې ممکن د لوړ تودوخې درملنې له امله رامینځته شي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: جنوري-۲۴-۲۰۲۴