Technologia powlekania próżniowego to technologia, która osadza cienkie warstwy materiałów na powierzchni materiałów podłoża w środowisku próżniowym, która jest szeroko stosowana w elektronice, optyce, opakowaniach, dekoracji i innych dziedzinach. Sprzęt do powlekania próżniowego można podzielić głównie na następujące typy:
1. Sprzęt do powlekania metodą termicznego parowania: jest to najbardziej tradycyjna metoda powlekania próżniowego. Polega ona na podgrzaniu cienkiej warstwy materiału w łódce parowniczej, materiał jest odparowywany i osadzany na powierzchni materiału podłoża.
2. Sprzęt do powlekania rozpyłowego: przy użyciu jonów o wysokiej energii uderzających w powierzchnię materiału docelowego, atomy materiału docelowego są rozpylane i osadzane na materiale podłoża. Rozpylanie magnetronowe pozwala uzyskać bardziej równomierną i mocniejszą przyczepność filmu, co nadaje się do produkcji masowej.
3. Sprzęt do osadzania wiązką jonów: Wiązki jonów są używane do osadzania cienkich warstw materiałów na podłożu. Ta metoda pozwala uzyskać bardzo jednorodne warstwy i nadaje się do sytuacji wymagających wysokiej precyzji, ale koszt sprzętu jest wysoki.
4. Sprzęt do chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD): Tworzy cienkie warstwy na powierzchni materiału podłoża poprzez reakcję chemiczną. Ta metoda umożliwia przygotowanie wysokiej jakości wielogatunkowych warstw, ale sprzęt jest skomplikowany i kosztowny.
5. Sprzęt do epitaksji z wiązek molekularnych (MBE): Jest to metoda kontrolowania wzrostu cienkich warstw na poziomie atomowym, stosowana głównie do przygotowywania ultracienkich warstw i struktur wielowarstwowych do zastosowań w półprzewodnikach i nanotechnologii.
6. Sprzęt do osadzania chemicznego z fazy gazowej wspomaganego plazmą (PECVD): Technika ta polega na wykorzystaniu plazmy w celu wspomagania osadzania cienkich warstw poprzez reakcję chemiczną, co pozwala na szybkie tworzenie cienkich warstw w niższych temperaturach.
7. Urządzenia wykorzystujące metodę osadzania laserowego impulsów (PLD): Urządzenia te wykorzystują impulsy laserowe o dużej energii do uderzenia w cel, odparowania materiału z powierzchni celu i osadzenia go na podłożu. Nadają się do wytwarzania wysokiej jakości, złożonych warstw tlenkowych.
Każde z tych urządzeń ma swoje własne cechy konstrukcyjne i operacyjne i nadaje się do różnych zastosowań przemysłowych i obszarów badawczych. Wraz z rozwojem technologii technologia powlekania próżniowego również postępuje, a także pojawiają się nowe urządzenia do powlekania próżniowego.
– Artykuł ten został opublikowany przezmaszyna do powlekania próżniowegoproducent Guangdong Zhenhua
Czas publikacji: 12-06-2024