Na właściwości mechaniczne warstwy membranowej wpływają takie czynniki jak przyczepność, naprężenie, gęstość agregacji itp. Z relacji pomiędzy materiałem warstwy membranowej a czynnikami procesu wynika, że jeśli chcemy poprawić wytrzymałość mechaniczną warstwy membranowej, powinniśmy skupić się na następujących parametrach procesu:
(1) poziom próżni. Próżnia ma bardzo oczywisty wpływ na wydajność filmu. Większość wskaźników wydajności warstwy filmu jest bardzo zależna od poziomu próżni. Zwykle wraz ze wzrostem stopnia próżni gęstość agregacji filmu wzrasta, twardość wzrasta, struktura filmu ulega poprawie, skład chemiczny staje się czystszy, ale jednocześnie wzrasta również naprężenie.
(2) Szybkość osadzania. Poprawa szybkości osadzania może być użyta nie tylko do poprawy szybkości parowania, to znaczy, zwiększenia temperatury źródła parowania, może być również użyta do zwiększenia powierzchni źródła parowania, ale użycie źródła parowania do zwiększenia temperatury podejścia ma swoje wady: sprawia, że naprężenie warstwy membrany jest zbyt duże; gaz tworzący film łatwo się rozkłada. Tak więc czasami zwiększenie powierzchni źródła parowania niż poprawa temperatury źródła parowania jest bardziej korzystne.
(3) temperatura podłoża. Zwiększenie temperatury podłoża sprzyja adsorpcji na powierzchni podłoża pozostałych cząsteczek gazu w celu wykluczenia, zwiększenia podłoża i siły wiązania między osadzonymi cząsteczkami: w tym samym czasie będzie promować konwersję adsorpcji fizycznej do adsorpcji chemicznej, wzmocni interakcję między cząsteczkami, tak aby struktura warstwy membrany była szczelna. Na przykład, Mg, membrana, ogrzewanie podłoża do 250 ~ 300 ℃ może zmniejszyć naprężenie wewnętrzne, poprawić gęstość agregacji, zwiększyć twardość warstwy membrany: ogrzewanie podłoża do 120 ~ 150 ℃ przygotowanej Zr03-Si02, wielowarstwowej membrany, jej wytrzymałość mechaniczna znacznie wzrosła, ale temperatura podłoża jest zbyt wysoka spowoduje pogorszenie warstwy membrany.
(4) Bombardowanie jonowe. Bombardowanie jonowe ma wpływ na tworzenie wysoce spoistych powierzchni, chropowatość powierzchni, utlenianie i gęstość agregacji. Bombardowanie przed powlekaniem może oczyścić powierzchnię i zwiększyć przyczepność; bombardowanie po powlekaniu może poprawić gęstość agregacji warstwy filmu itp., zwiększając w ten sposób wytrzymałość mechaniczną i twardość.
(5) Czyszczenie podłoża. Metoda czyszczenia podłoża nie jest odpowiednia lub nie jest czysta, w podłożu pozostają zanieczyszczenia lub środek czyszczący, co powoduje nowe zanieczyszczenie, w powłoce o różnych warunkach spójności i przyczepności, co wpływa na właściwości strukturalne i grubość optyczną pierwszej warstwy, ale także sprawia, że warstwa folii łatwo odchodzi od podłoża, zmieniając w ten sposób właściwości warstwy folii.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 04-05-2024