1. Technologia osadzania wspomaganego wiązką jonów charakteryzuje się silną przyczepnością między membraną a podłożem, warstwa membrany jest bardzo mocna. Eksperymenty pokazują, że: osadzanie wspomagane wiązką jonów adhezji niż przyczepność osadzania termicznego z fazy gazowej wzrosła kilkakrotnie do setek razy, powodem jest głównie bombardowanie jonami na powierzchni efektu czyszczenia, tak aby interfejs podstawy membrany tworzył gradientową strukturę interfejsu lub hybrydową warstwę przejściową, a także zmniejszał naprężenie membrany.
2. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może poprawić właściwości mechaniczne filmu, wydłużyć żywotność zmęczeniową, bardzo odpowiednie do przygotowywania tlenków, węglików, sześciennych BN, TiB2 i powłok diamentopodobnych. Na przykład w stali żaroodpornej 1Cr18Ni9Ti przy użyciu technologii osadzania wspomaganego wiązką jonów w celu wyhodowania 200 nm filmu Si3N4, nie tylko można zahamować powstawanie pęknięć zmęczeniowych na powierzchni materiału, ale także znacznie zmniejszyć szybkość dyfuzji pęknięć zmęczeniowych, co ma dobrą rolę w wydłużeniu jego żywotności.
3. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zmienić charakter naprężeń w warstwie i zmiany jej struktury krystalicznej. Na przykład przygotowanie warstwy Cr z bombardowaniem powierzchni podłoża 11,5 keV Xe + lub Ar + wykazało, że dostosowanie temperatury podłoża, energii jonów bombardowania, jonów i atomów w celu osiągnięcia stosunku parametrów może spowodować zmianę naprężenia z rozciągającego na ściskające, struktura krystaliczna warstwy również będzie powodować zmiany. Przy pewnym stosunku przybycia jonów do atomów, osadzanie wspomagane wiązką jonów ma lepszą selektywną orientację niż warstwa membrany osadzona metodą termicznego osadzania z fazy gazowej.
4. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zwiększyć odporność na korozję i utlenianie membrany. Ze względu na gęstość osadzania wspomaganego wiązką jonów warstwy filmu, ulepszenie struktury interfejsu podstawy filmu lub tworzenie stanu amorficznego spowodowane zanikiem granic ziaren między cząstkami, co sprzyja zwiększeniu odporności materiału na korozję i zapobiega utlenianiu w wysokiej temperaturze.
5. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zmieniać właściwości elektromagnetyczne warstwy i poprawiać parametry cienkich warstw optycznych.
6. Osadzanie wspomagane jonami pozwala na precyzyjną i niezależną regulację parametrów związanych z osadzaniem atomowym i implantacją jonów oraz umożliwia sukcesywne wytwarzanie powłok o grubości kilku mikrometrów o spójnym składzie przy niskich energiach bombardowania, dzięki czemu można wytwarzać różne cienkie warstwy w temperaturze pokojowej, unikając negatywnego wpływu na materiały lub precyzyjne części, który może być spowodowany ich obróbką w podwyższonych temperaturach.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 24-01-2024