ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਦੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਗੁਣ ਚਿਪਕਣ, ਤਣਾਅ, ਏਕੀਕਰਣ ਘਣਤਾ, ਆਦਿ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਾਰਕਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬੰਧਾਂ ਤੋਂ, ਇਹ ਦੇਖਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਜੇਕਰ ਅਸੀਂ ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਦੀ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣਾ ਚਾਹੁੰਦੇ ਹਾਂ, ਤਾਂ ਸਾਨੂੰ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮਾਪਦੰਡਾਂ 'ਤੇ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ:
(1) ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰ। ਫਿਲਮ ਦੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਬਹੁਤ ਸਪੱਸ਼ਟ ਹੈ। ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੇ ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਸੂਚਕ ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਗਰੀ ਵਧਦੀ ਹੈ, ਫਿਲਮ ਇਕੱਠੀ ਕਰਨ ਦੀ ਘਣਤਾ ਵਧਦੀ ਹੈ, ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਵਧਦੀ ਹੈ, ਫਿਲਮ ਬਣਤਰ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਰਸਾਇਣਕ ਰਚਨਾ ਸ਼ੁੱਧ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਪਰ ਉਸੇ ਸਮੇਂ ਤਣਾਅ ਵੀ ਵਧਦਾ ਹੈ।
(2) ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ। ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਦਰ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਯਾਨੀ ਕਿ, ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤ ਤਾਪਮਾਨ ਪਹੁੰਚ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ, ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤ ਖੇਤਰ ਪਹੁੰਚ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਵੀ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਪਰ ਪਹੁੰਚ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀਆਂ ਆਪਣੀਆਂ ਕਮੀਆਂ ਹਨ: ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਦਾ ਤਣਾਅ ਬਹੁਤ ਵੱਡਾ ਬਣਾਉਣਾ; ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਨੂੰ ਸੜਨਾ ਆਸਾਨ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ ਕਈ ਵਾਰ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
(3) ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ ਵਧਾਉਣਾ ਬਾਕੀ ਗੈਸ ਅਣੂਆਂ ਦੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਸੋਖਣ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਅਣੂਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਬਾਈਡਿੰਗ ਫੋਰਸ: ਉਸੇ ਸਮੇਂ ਭੌਤਿਕ ਸੋਖਣ ਨੂੰ ਰਸਾਇਣਕ ਸੋਖਣ ਵਿੱਚ ਬਦਲਣ ਨੂੰ ਉਤਸ਼ਾਹਿਤ ਕਰੇਗਾ, ਅਣੂਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਵਧਾਏਗਾ, ਤਾਂ ਜੋ ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਦੀ ਬਣਤਰ ਤੰਗ ਹੋਵੇ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, Mg, ਝਿੱਲੀ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ 250 ~ 300 ℃ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕਰਨ ਨਾਲ ਅੰਦਰੂਨੀ ਤਣਾਅ ਘੱਟ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਏਗਰੀਗੇਸ਼ਨ ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਦੀ ਕਠੋਰਤਾ ਵਧ ਸਕਦੀ ਹੈ: ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ 120 ~ 150 ℃ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕਰਨ ਨਾਲ ਤਿਆਰ Zr03-Si02, ਮਲਟੀਲੇਅਰ ਝਿੱਲੀ, ਇਸਦੀ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਵਧ ਗਈ ਹੈ, ਪਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੋਣ ਨਾਲ ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਦਾ ਵਿਗੜ ਜਾਵੇਗਾ।
(4) ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ। ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਦਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਇਕਸਾਰ ਸਤਹਾਂ ਦੇ ਗਠਨ, ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ, ਆਕਸੀਕਰਨ ਅਤੇ ਏਕੀਕਰਣ ਘਣਤਾ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਕੋਟਿੰਗ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਬੰਬਾਰੀ ਸਤਹ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਚਿਪਕਣ ਨੂੰ ਵਧਾ ਸਕਦੀ ਹੈ; ਕੋਟਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਬੰਬਾਰੀ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਏਕੀਕਰਣ ਘਣਤਾ, ਆਦਿ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
(5) ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਫਾਈ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਫਾਈ ਵਿਧੀ ਢੁਕਵੀਂ ਨਹੀਂ ਹੈ ਜਾਂ ਸਾਫ਼ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਜਾਂ ਸਫਾਈ ਏਜੰਟ, ਫਿਰ ਨਵੇਂ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੇ ਹਨ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਇਕਸੁਰਤਾ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਅਤੇ ਚਿਪਕਣ ਦੇ ਪਰਤ ਵਿੱਚ, ਪਹਿਲੀ ਪਰਤ ਦੇ ਢਾਂਚਾਗਤ ਗੁਣਾਂ ਅਤੇ ਆਪਟੀਕਲ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੋਂ ਬਾਹਰ ਆਉਣਾ ਆਸਾਨ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲਦੇ ਹਨ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਮਈ-04-2024