ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ଜମା କରେ, ଯାହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅପ୍ଟିକ୍ସ, ପ୍ୟାକେଜିଂ, ସାଜସଜ୍ଜା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ମୁଖ୍ୟତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ:
1. ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନୀକରଣ ଆବରଣ ଉପକରଣ: ଏହା ସବୁଠାରୁ ପାରମ୍ପରିକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି, ବାଷ୍ପୀଭବନୀକରଣ ଡଙ୍ଗାରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଗରମ କରି, ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭବନ କରାଯାଏ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କରାଯାଏ।
2. ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଉପକରଣ: ଟାର୍ଗେଟ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠକୁ ଆଘାତ କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନ ବ୍ୟବହାର କରି, ଟାର୍ଗେଟ ସାମଗ୍ରୀ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ସ୍ପଟର କରାଯାଏ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ଜମା କରାଯାଏ। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ବହୁଳ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଫିଲ୍ମର ଅଧିକ ସମାନ ଏବଂ ଦୃଢ଼ ଆବଦ୍ଧତା ପାଇବାରେ ସକ୍ଷମ।
3.ଆୟନ ବିମ୍ ଜମା ଉପକରଣ: ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଆୟନ ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ଏହି ପଦ୍ଧତିରେ ବହୁତ ସମାନ ଫିଲ୍ମ ମିଳିପାରିବ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଆବଶ୍ୟକତା ସହିତ ପରିସ୍ଥିତି ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, କିନ୍ତୁ ଉପକରଣ ମୂଲ୍ୟ ଅଧିକ।
୪. ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ଉପକରଣ: ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରେ। ଏହି ପଦ୍ଧତି ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା, ବହୁ-ପ୍ରଜାତିର ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିପାରିବ, କିନ୍ତୁ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଜଟିଳ ଏବଂ ମହଙ୍ଗା।
୫. ମଲିକ୍ୟୁଲାର ବିମ୍ ଏପିଟାକ୍ସି (MBE) ଉପକରଣ: ଏହା ପରମାଣୁ ସ୍ତରରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ବୃଦ୍ଧିକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାର ଏକ ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ଏହା ମୁଖ୍ୟତଃ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜି ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପତଳା ସ୍ତର ଏବଂ ବହୁସ୍ତରୀୟ ଗଠନ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
୬. ପ୍ଲାଜମା ଏନହାନ୍ସଡ୍ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PECVD) ଉପକରଣ: ଏହା ଏକ କୌଶଳ ଯାହା ଏକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଜମାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ପ୍ଲାଜମା ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରାରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଦ୍ରୁତ ଗଠନକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
୭. ପଲ୍ସଡ୍ ଲେଜର ଡିପୋଜିସନ୍ (PLD) ଡିଭାଇସ୍: ଏଗୁଡ଼ିକ ଟାର୍ଗେଟକୁ ଆଘାତ କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଲେଜର ପଲ୍ସ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଟାର୍ଗେଟ ପୃଷ୍ଠରୁ ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରନ୍ତି ଏବଂ ଏହାକୁ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କରନ୍ତି, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା, ଜଟିଳ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ଏହି ପ୍ରତ୍ୟେକ ଉପକରଣର ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମତାରେ ନିଜସ୍ୱ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି ଏବଂ ଏହା ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ଗବେଷଣା କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ। ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ବିକାଶ ସହିତ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମଧ୍ୟ ଅଗ୍ରଗତି କରୁଛି, ଏବଂ ନୂତନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟ ଉଭା ହେଉଛି।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଯନ୍ତ୍ରନିର୍ମାତା ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୧୨-୨୦୨୪