1. ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଝିଲ୍ଲୀ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଦୃଢ଼ ଆସନ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଣ୍ଣିତ, ଝିଲ୍ଲୀ ସ୍ତର ବହୁତ ଶକ୍ତିଶାଳୀ। ପରୀକ୍ଷାଗୁଡ଼ିକ ଦର୍ଶାଉଛି ଯେ: ତାପଜ ବାଷ୍ପ ଜମା ଅପେକ୍ଷା ଆୟନ ବିମ୍-ସହାୟତାରେ ଜମା ହେବାର ପରିମାଣ ଅନେକ ଗୁଣରୁ ଶହ ଶହ ଗୁଣ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି, କାରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ସଫା ପ୍ରଭାବର ପୃଷ୍ଠରେ ଆୟନ ବୋମା ମାଡ଼ ଯୋଗୁଁ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଝିଲ୍ଲୀ ଆଧାର ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ଏକ ଗ୍ରେଡିଏଣ୍ଟ ଇଣ୍ଟରଫେସିଆଲ୍ ଗଠନ, କିମ୍ବା ହାଇବ୍ରିଡ୍ ଟ୍ରାଞ୍ଜିସନ୍ ସ୍ତର ଗଠନ କରିଥାଏ, ଏବଂ ଝିଲ୍ଲୀ ଚାପକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
2. ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମା ଫିଲ୍ମର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ, କ୍ଲାନ୍ତି ଜୀବନକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିପାରିବ, ଅକ୍ସାଇଡ୍, କାର୍ବାଇଡ୍, କ୍ୟୁବିକ୍ BN, TiB2 ଏବଂ ହୀରା ପରି ଆବରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ବହୁତ ଉପଯୁକ୍ତ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 1Cr18Ni9Ti ତାପ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଇସ୍ପାତରେ 200nm Si3N4 ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଆୟନ-ବିମ୍-ସହାୟିତ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରି, ଏହା କେବଳ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ କ୍ଲାନ୍ତି ଫାଟ ସୃଷ୍ଟିକୁ ରୋକିପାରିବ ନାହିଁ, ବରଂ କ୍ଲାନ୍ତି ଫାଟ ପ୍ରସାରଣର ହାରକୁ ମଧ୍ୟ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଏହାର ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରିବାରେ ଏକ ଭଲ ଭୂମିକା ରହିଛି।
3. ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ଫିଲ୍ମର ଚାପ ପ୍ରକୃତିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରେ ଏବଂ ଏହାର ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠର 11.5keV Xe + କିମ୍ବା Ar + ବୋମା ସହିତ Cr ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତି, ଦେଖାଗଲା ଯେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରାର ସମାୟୋଜନ, ଆୟନ ଶକ୍ତି, ଆୟନ ଏବଂ ପରମାଣୁ ପାରାମିଟରର ଅନୁପାତରେ ପହଞ୍ଚିବା ପାଇଁ, ଚାପକୁ ଟେନସାଇଲ୍ ଚାପରୁ ସଙ୍କୋଚନାତ୍ମକ ଚାପକୁ କରିପାରେ, ଫିଲ୍ମର ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ ମଧ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିବ। ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆୟନ-ପରମାଣୁ ଆଗମନ ଅନୁପାତ ଅଧୀନରେ, ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ତାପଜ ବାଷ୍ପ ଜମା ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା ଝିଲ୍ଲୀ ସ୍ତର ଅପେକ୍ଷା ଭଲ ଚୟନମୂଳକ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ଥାଏ।
୪.ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମା ଝିଲ୍ଲୀର କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିପାରିବ। ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଆୟନ ବିମ୍-ସହାୟିତ ଜମାର ଘନତା ଯୋଗୁଁ, ଫିଲ୍ମ ବେସ୍ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ଗଠନରେ ଉନ୍ନତି କିମ୍ବା କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଶସ୍ୟ ସୀମା ଅଦୃଶ୍ୟ ହେବା ଦ୍ୱାରା ଆକାରହୀନ ଅବସ୍ଥାର ଗଠନ, ଯାହା ସାମଗ୍ରୀର କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାର ଅକ୍ସିଡେସନକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବା ପାଇଁ ସହାୟକ।
୫. ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ନିକ୍ଷେପ ଫିଲ୍ମର ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ଗୁଣକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ।
6. ଆୟନ-ସହାୟିତ ଜମା ପରମାଣୁ ଜମା ଏବଂ ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ସହିତ ଜଡିତ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ସଠିକ ଏବଂ ସ୍ୱାଧୀନ ସମାୟୋଜନକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଏବଂ କମ ବୋମାମାଡ଼ ଶକ୍ତିରେ ସ୍ଥିର ରଚନା ସହିତ କିଛି ମାଇକ୍ରୋମିଟରର କ୍ରମାଗତ ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ବିଭିନ୍ନ ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇପାରିବ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଚିକିତ୍ସା କରିବା ଦ୍ୱାରା ସାମଗ୍ରୀ କିମ୍ବା ସଠିକ ଅଂଶ ଉପରେ ପ୍ରତିକୂଳ ପ୍ରଭାବକୁ ଏଡାଯାଇପାରିବ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୨୪-୨୦୨୪