CVD ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ନିମ୍ନଲିଖିତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି:
1. CVD ଉପକରଣର ପ୍ରକ୍ରିୟା କାର୍ଯ୍ୟ ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ସରଳ ଏବଂ ନମନୀୟ, ଏବଂ ଏହା ବିଭିନ୍ନ ଅନୁପାତ ସହିତ ଏକକ କିମ୍ବା ମିଶ୍ରିତ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ମିଶ୍ରଧାତୁ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିପାରିବ;
2. CVD ଆବରଣର ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି, ଏବଂ ଏହାକୁ ବିଭିନ୍ନ ଧାତୁ କିମ୍ବା ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ ଆବରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ;
3. ପ୍ରତି ମିନିଟ୍ ରେ କିଛି ମାଇକ୍ରୋନରୁ ଶହ ଶହ ମାଇକ୍ରୋନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଜମା ହାର ହେତୁ ଉଚ୍ଚ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା;
୪. PVD ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ, CVD ର ବିବର୍ତ୍ତନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉନ୍ନତ ଏବଂ ଏହା ଜଟିଳ ଆକୃତି ସହିତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆବରଣ ପାଇଁ ବହୁତ ଉପଯୁକ୍ତ, ଯେପରିକି ଖାଲ, ଆବୃତ ଗର୍ତ୍ତ, ଏବଂ ଏପରିକି ବ୍ଲାଇଣ୍ଡ ହୋଲ୍ ଷ୍ଟ୍ରକଚର। ଆବରଣକୁ ଭଲ କମ୍ପାକ୍ଟନେସ୍ ସହିତ ଏକ ଫିଲ୍ମରେ ପ୍ଲେଟ କରାଯାଇପାରିବ। ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ଦୃଢ଼ ଆସନ ଯୋଗୁଁ, ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ବହୁତ ଦୃଢ଼।
୫. ବିକିରଣ ଦ୍ୱାରା ହେଉଥିବା କ୍ଷତି ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ କମ୍ ଏବଂ ଏହାକୁ MOS ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ।
——ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ୍ ଝେନହୁଆ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ, ଏକଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୨୯-୨୦୨୩