Ukadaulo wokutira wa CVD uli ndi izi:
1. Njira yogwiritsira ntchito zida za CVD ndizosavuta komanso zosinthika, ndipo zimatha kukonzekera mafilimu amodzi kapena ophatikizika ndi mafilimu a alloy ndi magawo osiyanasiyana;
2. Kupaka kwa CVD kuli ndi ntchito zambiri, ndipo kungagwiritsidwe ntchito pokonzekera zojambula zosiyanasiyana zazitsulo kapena zitsulo;
3. Kupanga kwakukulu chifukwa cha mitengo yoyika kuyambira ma microns angapo mpaka mazana a ma microns pamphindi;
4. Poyerekeza ndi njira ya PVD, CVD ili ndi ntchito yabwino ya diffraction ndipo ndiyoyenera kwambiri kupaka magawo okhala ndi mawonekedwe ovuta, monga ma grooves, mabowo ophimbidwa, ngakhalenso mabowo akhungu. Chophimbacho chikhoza kuikidwa mufilimu yokhala ndi compactness yabwino. Chifukwa cha kutentha kwakukulu pakupanga filimuyi, ndi kumamatira mwamphamvu pa mawonekedwe a gawo lapansi la filimuyo, filimuyi imakhala yolimba kwambiri.
5. Zowonongeka zomwe zimayambitsidwa ndi ma radiation ndizochepa kwambiri ndipo zimatha kuphatikizidwa ndi MOS Integrated circuit process.
——Nkhaniyi yasindikizidwa ndi Guangdong Zhenhua, awopanga makina opangira vacuum
Nthawi yotumiza: Mar-29-2023