Vakuumbeleggsteknologi er en teknologi som avsetter tynnfilmmaterialer på overflaten av substratmaterialer under vakuummiljø, og er mye brukt innen elektronikk, optikk, emballasje, dekorasjon og andre felt. Vakuumbeleggsutstyr kan hovedsakelig deles inn i følgende typer:
1. Termisk fordampningsbeleggsutstyr: Dette er den mest tradisjonelle vakuumbeleggsmetoden. Ved å varme opp tynnfilmmaterialet i fordampningsbåten fordampes materialet og avsettes på overflaten av substratmaterialet.
2. Sputteringsutstyr: Ved å bruke høyenergiioner som treffer overflaten av målmaterialet, blir målmaterialets atomer sputtert og avsatt på substratmaterialet. Magnetronsputtering er i stand til å oppnå en jevnere og sterkere vedheft av filmen, egnet for masseproduksjon.
3. Utstyr for avsetning av ionstråler: Ionstråler brukes til å avsette tynne filmmaterialer på substratet. Denne metoden kan oppnå svært ensartede filmer og er egnet for anledninger med høye presisjonskrav, men utstyrskostnadene er høye.
4. Utstyr for kjemisk dampavsetning (CVD): Danner tynne filmer på overflaten av substratmaterialet gjennom en kjemisk reaksjon. Denne metoden kan fremstille filmer av høy kvalitet med flere arter, men utstyret er komplekst og kostbart.
5. Molekylstråleepitaksi (MBE)-utstyr: Dette er en metode for å kontrollere veksten av tynne filmer på atomnivå og brukes hovedsakelig til fremstilling av ultratynne lag og flerlagsstrukturer for halvleder- og nanoteknologiapplikasjoner.
6. Plasmaforsterket kjemisk dampavsetningsutstyr (PECVD): Dette er en teknikk som bruker plasma for å forbedre avsetningen av tynne filmer gjennom en kjemisk reaksjon, noe som muliggjør rask dannelse av tynne filmer ved lavere temperaturer.
7. Pulserende laseravsetningsenheter (PLD): Disse bruker høyenergilaserpulser til å treffe et mål, fordampe materiale fra måloverflaten og avsette det på et substrat, og er egnet for dyrking av komplekse oksidfilmer av høy kvalitet.
Hver av disse enhetene har sine egne egenskaper i design og drift, og er egnet for ulike industrielle applikasjoner og forskningsområder. Med utviklingen av teknologi går også vakuumbeleggteknologien fremover, og nytt vakuumbeleggutstyr dukker også opp.
– Denne artikkelen er publisert avvakuumbeleggsmaskinprodusent Guangdong Zhenhua
Publisert: 12. juni 2024