Vacuümcoatingtechnologie is een technologie waarbij dunne filmmaterialen onder vacuüm op het oppervlak van substraatmaterialen worden aangebracht. Deze technologie wordt veel gebruikt in de elektronica, optica, verpakking, decoratie en andere sectoren. Vacuümcoatingapparatuur kan hoofdzakelijk worden onderverdeeld in de volgende typen:
1. Apparatuur voor thermische verdampingscoating: dit is de meest traditionele vacuümcoatingmethode, waarbij het dunne filmmateriaal in de verdampingsboot wordt verhit, het materiaal verdampt en op het oppervlak van het substraatmateriaal wordt afgezet.
2. Sputtercoatingapparatuur: door hoogenergetische ionen op het oppervlak van het doelmateriaal te laten vallen, worden de atomen van het doelmateriaal gesputterd en op het substraat afgezet. Magnetronsputteren zorgt voor een gelijkmatigere en sterkere hechting van de film, geschikt voor massaproductie.
3. Apparatuur voor ionenbundeldepositie: Ionenbundels worden gebruikt om dunne filmmaterialen op het substraat af te zetten. Deze methode kan zeer uniforme films produceren en is geschikt voor situaties met hoge precisie-eisen, maar de kosten van de apparatuur zijn hoog.
4. Apparatuur voor chemische dampdepositie (CVD): vormt dunne films op het oppervlak van het substraatmateriaal door middel van een chemische reactie. Deze methode kan hoogwaardige, multispecies films produceren, maar de apparatuur is complex en duur.
5. Moleculaire bundelepitaxie (MBE)-apparatuur: Dit is een methode om de groei van dunne films op atomair niveau te controleren en wordt voornamelijk gebruikt voor de bereiding van ultradunne lagen en meerlaagse structuren voor halfgeleider- en nanotechnologietoepassingen.
6. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)-apparatuur: Dit is een techniek waarbij plasma wordt gebruikt om de afzetting van dunne films door een chemische reactie te verbeteren, waardoor snelle vorming van dunne films bij lagere temperaturen mogelijk is.
7. Pulsed Laser Deposition (PLD)-apparaten: Deze gebruiken laserpulsen met hoge energie om een doel te raken, materiaal van het doeloppervlak te verdampen en het op een substraat af te zetten. Ze zijn geschikt voor het laten groeien van complexe oxidefilms van hoge kwaliteit.
Elk van deze apparaten heeft zijn eigen kenmerken qua ontwerp en werking en is geschikt voor verschillende industriële toepassingen en onderzoeksgebieden. Met de ontwikkeling van technologie ontwikkelt ook de vacuümcoatingtechnologie zich verder en verschijnen er nieuwe vacuümcoatingapparatuur.
–Dit artikel is gepubliceerd doorvacuümcoatingmachinefabrikant Guangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 12 juni 2024