भ्याकुम कोटिंग टेक्नोलोजी भनेको भ्याकुम वातावरण अन्तर्गत सब्सट्रेट सामग्रीको सतहमा पातलो फिल्म सामग्रीहरू जम्मा गर्ने प्रविधि हो, जुन इलेक्ट्रोनिक्स, अप्टिक्स, प्याकेजिङ, सजावट र अन्य क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। भ्याकुम कोटिंग उपकरणहरू मुख्यतया निम्न प्रकारहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ:
१. थर्मल वाष्पीकरण कोटिंग उपकरण: यो सबैभन्दा परम्परागत भ्याकुम कोटिंग विधि हो, वाष्पीकरण डुङ्गामा पातलो फिल्म सामग्रीलाई तताएर, सामग्रीलाई वाष्पीकरण गरिन्छ र सब्सट्रेट सामग्रीको सतहमा जम्मा गरिन्छ।
२. स्पटरिङ कोटिंग उपकरण: लक्षित सामग्रीको सतहमा हिर्काउन उच्च-ऊर्जा आयनहरू प्रयोग गरेर, लक्षित सामग्रीका परमाणुहरू स्पटर गरिन्छन् र सब्सट्रेट सामग्रीमा जम्मा गरिन्छन्। म्याग्नेट्रोन स्पटरिङले ठूलो उत्पादनको लागि उपयुक्त फिल्मको अधिक समान र बलियो आसंजन प्राप्त गर्न सक्षम छ।
३.आयन बीम निक्षेपण उपकरण: आयन बीमहरू सब्सट्रेटमा पातलो फिल्म सामग्रीहरू जम्मा गर्न प्रयोग गरिन्छ। यो विधिले धेरै एकरूप फिल्महरू प्राप्त गर्न सक्छ र उच्च परिशुद्धता आवश्यकताहरू भएका अवसरहरूको लागि उपयुक्त छ, तर उपकरणको लागत उच्च छ।
४. रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) उपकरण: रासायनिक प्रतिक्रिया मार्फत सब्सट्रेट सामग्रीको सतहमा पातलो फिल्महरू बनाउँछ। यो विधिले उच्च-गुणस्तर, बहु-प्रजाति फिल्महरू तयार गर्न सक्छ, तर उपकरण जटिल र महँगो छ।
५. आणविक बीम एपिटाक्सी (MBE) उपकरण: यो परमाणु स्तरमा पातलो फिल्महरूको वृद्धि नियन्त्रण गर्ने एक विधि हो र मुख्यतया अर्धचालक र न्यानो प्रविधि अनुप्रयोगहरूको लागि अति-पातलो तह र बहु-तह संरचनाहरूको तयारीको लागि प्रयोग गरिन्छ।
६. प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल भाप निक्षेपण (PECVD) उपकरण: यो एक प्रविधि हो जसले रासायनिक प्रतिक्रियाद्वारा पातलो फिल्महरूको निक्षेपण बढाउन प्लाज्मा प्रयोग गर्दछ, जसले कम तापक्रममा पातलो फिल्महरूको द्रुत गठनलाई अनुमति दिन्छ।
७. पल्स्ड लेजर डिपोजिसन (PLD) उपकरणहरू: यी उच्च-ऊर्जा लेजर पल्सहरू प्रयोग गरेर लक्ष्यमा प्रहार गर्छन्, लक्षित सतहबाट सामग्री वाष्पीकरण गर्छन् र यसलाई सब्सट्रेटमा जम्मा गर्छन्, र उच्च-गुणस्तर, जटिल अक्साइड फिल्महरू बढाउनको लागि उपयुक्त हुन्छन्।
यी प्रत्येक उपकरणहरूको डिजाइन र सञ्चालनमा आफ्नै विशेषताहरू छन् र विभिन्न औद्योगिक अनुप्रयोगहरू र अनुसन्धान क्षेत्रहरूको लागि उपयुक्त छन्। प्रविधिको विकाससँगै, भ्याकुम कोटिंग प्रविधि पनि अगाडि बढिरहेको छ, र नयाँ भ्याकुम कोटिंग उपकरणहरू पनि देखा पर्दै छन्।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिननिर्माता गुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: जुन-१२-२०२४