झिल्ली तहको यान्त्रिक गुणहरू आसंजन, तनाव, एकत्रीकरण घनत्व, आदिबाट प्रभावित हुन्छन्। झिल्ली तह सामग्री र प्रक्रिया कारकहरू बीचको सम्बन्धबाट, यो देख्न सकिन्छ कि यदि हामी झिल्ली तहको यान्त्रिक शक्ति सुधार गर्न चाहन्छौं भने, हामीले निम्न प्रक्रिया प्यारामिटरहरूमा ध्यान केन्द्रित गर्नुपर्छ:
(१) भ्याकुम स्तर। फिल्मको प्रदर्शनमा भ्याकुम धेरै स्पष्ट छ। फिल्म तहको धेरैजसो प्रदर्शन सूचकहरू भ्याकुम स्तरमा धेरै निर्भर हुन्छन्। सामान्यतया, भ्याकुम डिग्री बढ्दै जाँदा, फिल्म एकत्रीकरण घनत्व बढ्छ, दृढता बढ्छ, फिल्म संरचना सुधार हुन्छ, रासायनिक संरचना शुद्ध हुन्छ, तर एकै समयमा तनाव पनि बढ्छ।
(२) निक्षेप दर। निक्षेप दर सुधार गर्नुहोस् वाष्पीकरण दर सुधार गर्न मात्र प्रयोग गर्न सकिँदैन, अर्थात्, वाष्पीकरण स्रोत तापक्रम दृष्टिकोण बढाउन, वाष्पीकरण स्रोत क्षेत्र दृष्टिकोण बढाउन पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ, तर दृष्टिकोणको तापक्रम बढाउन वाष्पीकरण स्रोतको प्रयोगमा यसको कमजोरीहरू छन्: झिल्ली तहको तनाव धेरै ठूलो बनाउनु; फिल्म बनाउने ग्यास विघटन गर्न सजिलो छ। त्यसैले कहिलेकाहीं वाष्पीकरण स्रोत तापक्रम सुधार गर्नु भन्दा वाष्पीकरण स्रोत क्षेत्र बढाउनु बढी अनुकूल हुन्छ।
(३) सब्सट्रेट तापक्रम। सब्सट्रेट तापक्रम बढाउनाले बाँकी ग्यास अणुहरूको सब्सट्रेट सतहमा अवशोषण गर्न अनुकूल हुन्छ, सब्सट्रेट र जम्मा भएका अणुहरू बीचको बन्धन बल बढ्छ: एकै समयमा भौतिक अवशोषणलाई रासायनिक अवशोषणमा रूपान्तरण गर्न प्रवर्द्धन गर्नेछ, अणुहरू बीचको अन्तरक्रिया बढाउँछ, ताकि झिल्ली तह संरचना कडा होस्। उदाहरणका लागि, Mg, झिल्ली, सब्सट्रेटलाई २५० ~ ३०० ℃ मा तताउँदा आन्तरिक तनाव कम गर्न सकिन्छ, एकत्रीकरण घनत्व सुधार गर्न सकिन्छ, झिल्ली तहको कठोरता बढाउन सकिन्छ: सब्सट्रेटलाई १२० ~ १५० ℃ मा तताउन सकिन्छ, Zr03-Si02 तयार पारिएको, बहु-तह झिल्ली, यसको यान्त्रिक शक्ति धेरै बढेको छ, तर सब्सट्रेट तापक्रम धेरै उच्च छ भने झिल्ली तह बिग्रन्छ।
(४) आयन बमबारी। आयन बमबारीले अत्यधिक एकरूप सतहहरूको गठन, सतहको खस्रोपन, अक्सिडेशन र एकत्रीकरण घनत्वमा प्रभाव पार्छ। कोटिंग अघि बमबारीले सतह सफा गर्न र आसंजन बढाउन सक्छ; कोटिंग पछि बमबारीले फिल्म तह एकत्रीकरण घनत्व, आदि सुधार गर्न सक्छ, जसले गर्दा यान्त्रिक शक्ति र कठोरता बढ्छ।
(५) सब्सट्रेट सफाई। सब्सट्रेट सफाई विधि उपयुक्त छैन वा सफा छैन, सब्सट्रेट अवशिष्ट अशुद्धता वा सफाई एजेन्टमा, त्यसपछि नयाँ प्रदूषण निम्त्याउँछ, विभिन्न एकता अवस्था र आसंजनको कोटिंगमा, संरचनात्मक गुणहरू र अप्टिकल मोटाईको पहिलो तहलाई असर गर्छ, तर फिल्म तहलाई सब्सट्रेटबाट बाहिर निस्कन सजिलो बनाउँछ, यसरी फिल्म तहको विशेषताहरू परिवर्तन गर्दछ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: मे-०४-२०२४