१. आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसन टेक्नोलोजी झिल्ली र सब्सट्रेट बीचको बलियो आसंजन द्वारा विशेषता हो, झिल्ली तह धेरै बलियो छ। प्रयोगहरूले देखाउँछन् कि: थर्मल वाष्प निक्षेपको आसंजन भन्दा आयन बीम-सहायता आसंजनको निक्षेपण धेरै गुणा बढेर सयौं गुणा भएको छ, कारण मुख्यतया सफाई प्रभावको सतहमा आयन बमबारी हो, जसले गर्दा झिल्ली आधार इन्टरफेसले ग्रेडियन्ट इन्टरफेसियल संरचना, वा हाइब्रिड ट्रान्जिसन तह बनाउँछ, साथै झिल्ली तनाव कम गर्दछ।
२. आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनले फिल्मको मेकानिकल गुणहरू सुधार गर्न सक्छ, थकान आयु बढाउन सक्छ, अक्साइड, कार्बाइड, क्यूबिक BN, TiB2, र हीरा जस्तो कोटिंग्सको तयारीको लागि धेरै उपयुक्त। उदाहरणका लागि, 1Cr18Ni9Ti ताप-प्रतिरोधी स्टीलमा २००nm Si3N4 फिल्म बढाउन आयन-बीम-सहायता डिपोजिसन प्रविधिको प्रयोगले सामग्रीको सतहमा थकान दरारहरूको उदयलाई मात्र रोक्न सक्दैन, तर थकान दरार प्रसारको दरलाई पनि उल्लेखनीय रूपमा कम गर्न सक्छ, यसको आयु बढाउनको लागि राम्रो भूमिका खेल्छ।
३. आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनले फिल्मको तनाव प्रकृति र यसको क्रिस्टलीय संरचना परिवर्तन गर्न सक्छ। उदाहरणका लागि, सब्सट्रेट सतहको ११.५keV Xe + वा Ar + बमबारी भएको Cr फिल्मको तयारी गर्दा, सब्सट्रेटको तापक्रम, बमबारी आयन ऊर्जा, आयनहरू र परमाणुहरूको प्यारामिटरहरूको अनुपातमा पुग्नको लागि समायोजनले तनावलाई तन्य तनावबाट कम्प्रेसिभ तनावमा पुर्याउन सक्छ भन्ने पत्ता लाग्यो, फिल्मको क्रिस्टलीय संरचनाले पनि परिवर्तनहरू उत्पादन गर्नेछ। निश्चित आयन-देखि-परमाणु आगमन अनुपात अन्तर्गत, आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनमा थर्मल वाष्प निक्षेपणद्वारा जम्मा गरिएको झिल्ली तह भन्दा राम्रो चयनात्मक अभिमुखीकरण हुन्छ।
४. आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनले झिल्लीको जंग प्रतिरोध र अक्सिडेशन प्रतिरोध बढाउन सक्छ। फिल्म तहको आयन बीम-असिस्टेड डिपोजिसनको घनत्वको कारण, फिल्म आधार इन्टरफेस संरचना सुधार वा कणहरू बीचको अन्न सीमाहरू गायब हुँदा अनाकार अवस्थाको गठन, जुन सामग्रीको जंग प्रतिरोध बढाउन र उच्च तापक्रमको अक्सिडेशन प्रतिरोध गर्न अनुकूल छ।
५. आयन बीम असिस्टेड डिपोजिसनले फिल्मको इलेक्ट्रोम्याग्नेटिक गुणहरू परिवर्तन गर्न सक्छ र अप्टिकल पातलो फिल्महरूको प्रदर्शन सुधार गर्न सक्छ।
६. आयन-सहायता प्राप्त निक्षेपणले परमाणु निक्षेपण र आयन प्रत्यारोपणसँग सम्बन्धित प्यारामिटरहरूको सटीक र स्वतन्त्र समायोजनलाई अनुमति दिन्छ, र कम बमबारी ऊर्जामा एकरूप संरचनाको साथ केही माइक्रोमिटरहरूको कोटिंगहरूको क्रमिक उत्पादनको लागि अनुमति दिन्छ, ताकि विभिन्न पातलो फिल्महरू कोठाको तापक्रममा उब्जाउन सकियोस्, उच्च तापक्रममा उपचार गर्दा हुने सामग्री वा सटीक भागहरूमा पर्ने प्रतिकूल प्रभावहरूलाई बेवास्ता गर्दै।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: जनवरी-२४-२०२४