Teknologi salutan vakum ialah teknologi yang mendepositkan bahan filem nipis ke permukaan bahan substrat di bawah persekitaran vakum, yang digunakan secara meluas dalam elektronik, optik, pembungkusan, hiasan dan bidang lain. Peralatan salutan vakum boleh dibahagikan kepada jenis berikut:
1. Peralatan salutan penyejatan terma: ini adalah kaedah salutan vakum yang paling tradisional, dengan memanaskan bahan filem nipis dalam bot penyejatan, bahan tersebut disejat dan didepositkan ke permukaan bahan substrat.
2. Peralatan salutan sputtering: menggunakan ion bertenaga tinggi untuk memukul permukaan bahan sasaran, atom bahan sasaran terpercik dan didepositkan ke bahan substrat. Sputtering Magnetron dapat memperoleh lekatan filem yang lebih seragam dan lebih kuat, sesuai untuk pengeluaran besar-besaran.
3. Peralatan pemendapan rasuk ion: Rasuk ion digunakan untuk mendepositkan bahan filem nipis ke substrat. Kaedah ini boleh mendapatkan filem yang sangat seragam dan sesuai untuk majlis dengan keperluan ketepatan tinggi, tetapi kos peralatannya tinggi.
4. Pemendapan Wap Kimia (CVD) Peralatan: Membentuk filem nipis pada permukaan bahan substrat melalui tindak balas kimia. Kaedah ini boleh menyediakan filem berbilang spesies berkualiti tinggi, tetapi peralatannya rumit dan mahal.
5. Peralatan Molecular Beam Epitaxy (MBE): Ini adalah kaedah mengawal pertumbuhan filem nipis pada tahap atom dan digunakan terutamanya untuk penyediaan lapisan ultra-nipis dan struktur berbilang lapisan untuk aplikasi semikonduktor dan nanoteknologi.
6. Peralatan Pemendapan Wap Kimia Dipertingkat Plasma (PECVD): Ini ialah teknik yang menggunakan plasma untuk meningkatkan pemendapan filem nipis melalui tindak balas kimia, membolehkan pembentukan pantas filem nipis pada suhu yang lebih rendah.
7. Peranti Pemendapan Laser Berdenyutan (PLD): Ini menggunakan denyutan laser bertenaga tinggi untuk menyerang sasaran, menyejat bahan dari permukaan sasaran dan mendepositkannya ke substrat, dan sesuai untuk mengembangkan filem oksida kompleks yang berkualiti tinggi.
Setiap peranti ini mempunyai ciri tersendiri dalam reka bentuk dan operasi dan sesuai untuk aplikasi industri dan kawasan penyelidikan yang berbeza. Dengan perkembangan teknologi, teknologi salutan vakum juga semakin maju, dan peralatan salutan vakum baharu juga muncul.
–Artikel ini dikeluarkan olehmesin salutan vakumpengilang Guangdong Zhenhua
Masa siaran: Jun-12-2024