Sifat mekanikal lapisan membran dipengaruhi oleh lekatan, tegasan, ketumpatan pengagregatan, dan lain-lain. Daripada hubungan antara bahan lapisan membran dan faktor proses, dapat dilihat bahawa jika kita ingin meningkatkan kekuatan mekanikal lapisan membran, kita harus memberi tumpuan kepada parameter proses berikut:
(1) tahap vakum. Vakum pada persembahan filem itu sangat jelas. Kebanyakan penunjuk prestasi lapisan filem sangat bergantung pada tahap vakum. Biasanya, apabila tahap vakum meningkat, ketumpatan pengagregatan filem meningkat, ketegasan meningkat, struktur filem bertambah baik, komposisi kimia menjadi tulen, tetapi pada masa yang sama tekanan juga meningkat.
(2) Kadar pemendapan. Meningkatkan kadar pemendapan bukan sahaja boleh digunakan untuk meningkatkan kadar penyejatan, iaitu, meningkatkan pendekatan suhu sumber penyejatan, juga boleh digunakan untuk meningkatkan pendekatan kawasan sumber penyejatan untuk mencapai, tetapi penggunaan sumber penyejatan untuk meningkatkan suhu pendekatan mempunyai kelemahannya: membuat tekanan lapisan membran terlalu besar; gas pembentuk filem mudah terurai. Jadi kadang-kadang meningkatkan kawasan sumber penyejatan daripada untuk meningkatkan suhu sumber penyejatan adalah lebih baik.
(3) suhu substrat. Meningkatkan suhu substrat adalah kondusif untuk penjerapan pada permukaan substrat molekul gas yang tinggal untuk mengecualikan, meningkatkan substrat dan daya pengikat antara molekul yang dimendapkan: pada masa yang sama akan menggalakkan penukaran penjerapan fizikal kepada penjerapan kimia, meningkatkan interaksi antara molekul, supaya struktur lapisan membran adalah ketat. Sebagai contoh, Mg, membran, pemanasan substrat kepada 250 ~ 300 ℃ boleh mengurangkan tekanan dalaman, meningkatkan ketumpatan pengagregatan, meningkatkan kekerasan lapisan membran: pemanasan substrat kepada 120 ~ 150 ℃ disediakan Zr03-Si02, membran berbilang lapisan, kekuatan mekanikalnya meningkat dengan banyak, tetapi suhu substrat terlalu tinggi akan menyebabkan kemerosotan lapisan membran.
(4) Pengeboman ion. Pengeboman ion mempunyai kesan ke atas pembentukan permukaan yang sangat padat, kekasaran permukaan, pengoksidaan dan ketumpatan pengagregatan. Pengeboman sebelum salutan boleh membersihkan permukaan dan meningkatkan lekatan; pengeboman selepas salutan boleh meningkatkan ketumpatan pengagregatan lapisan filem, dan lain-lain, dengan itu meningkatkan kekuatan mekanikal dan kekerasan.
(5) Pembersihan substrat. Kaedah pembersihan substrat tidak sesuai atau tidak bersih, dalam kekotoran sisa substrat atau agen pembersih, kemudian menyebabkan pencemaran baru, dalam salutan keadaan perpaduan dan lekatan yang berbeza, menjejaskan lapisan pertama sifat struktur dan ketebalan optik, tetapi juga membuat lapisan filem mudah terkeluar dari substrat, dengan itu mengubah ciri-ciri lapisan filem.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Mei-04-2024