व्हॅक्यूम कोटिंग तंत्रज्ञान ही एक तंत्रज्ञान आहे जी व्हॅक्यूम वातावरणात सब्सट्रेट मटेरियलच्या पृष्ठभागावर पातळ फिल्म मटेरियल जमा करते, जी इलेक्ट्रॉनिक्स, ऑप्टिक्स, पॅकेजिंग, सजावट आणि इतर क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते. व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे प्रामुख्याने खालील प्रकारांमध्ये विभागली जाऊ शकतात:
१. थर्मल बाष्पीभवन कोटिंग उपकरणे: ही सर्वात पारंपारिक व्हॅक्यूम कोटिंग पद्धत आहे, बाष्पीभवन बोटीतील पातळ फिल्म मटेरियल गरम करून, मटेरियल बाष्पीभवन केले जाते आणि सब्सट्रेट मटेरियलच्या पृष्ठभागावर जमा केले जाते.
२. स्पटरिंग कोटिंग उपकरणे: लक्ष्यित सामग्रीच्या पृष्ठभागावर आदळण्यासाठी उच्च-ऊर्जा आयनांचा वापर करून, लक्ष्यित सामग्रीचे अणू स्पटर केले जातात आणि सब्सट्रेट सामग्रीमध्ये जमा केले जातात. मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासाठी योग्य असलेल्या चित्रपटाचे अधिक एकसमान आणि मजबूत आसंजन प्राप्त करण्यास सक्षम आहे.
३.आयन बीम डिपॉझिशन उपकरणे: आयन बीमचा वापर सब्सट्रेटवर पातळ फिल्म मटेरियल जमा करण्यासाठी केला जातो. ही पद्धत अतिशय एकसमान फिल्म मिळवू शकते आणि उच्च अचूकता आवश्यकता असलेल्या प्रसंगांसाठी योग्य आहे, परंतु उपकरणांची किंमत जास्त आहे.
४. रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) उपकरणे: रासायनिक अभिक्रियेद्वारे सब्सट्रेट मटेरियलच्या पृष्ठभागावर पातळ थर तयार होतात. या पद्धतीने उच्च-गुणवत्तेचे, बहु-प्रजातींचे थर तयार करता येतात, परंतु उपकरणे जटिल आणि महाग आहेत.
५. आण्विक बीम एपिटॅक्सी (MBE) उपकरणे: ही अणु पातळीवर पातळ थरांच्या वाढीवर नियंत्रण ठेवण्याची एक पद्धत आहे आणि मुख्यतः अर्धसंवाहक आणि नॅनोटेक्नॉलॉजी अनुप्रयोगांसाठी अति-पातळ थर आणि बहुस्तरीय संरचना तयार करण्यासाठी वापरली जाते.
६. प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (PECVD) उपकरणे: ही एक अशी पद्धत आहे जी प्लाझ्मा वापरून रासायनिक अभिक्रियेद्वारे पातळ फिल्म्सचे डिपॉझिशन वाढवते, ज्यामुळे कमी तापमानात पातळ फिल्म्स जलद तयार होतात.
७. स्पंदित लेसर डिपॉझिशन (पीएलडी) उपकरणे: हे लक्ष्यावर प्रहार करण्यासाठी, लक्ष्य पृष्ठभागावरून सामग्रीचे बाष्पीभवन करण्यासाठी आणि ते सब्सट्रेटवर जमा करण्यासाठी उच्च-ऊर्जा लेसर पल्स वापरतात आणि उच्च-गुणवत्तेच्या, जटिल ऑक्साईड फिल्म्स वाढवण्यासाठी योग्य आहेत.
या प्रत्येक उपकरणाची डिझाइन आणि ऑपरेशनमध्ये स्वतःची वैशिष्ट्ये आहेत आणि ती वेगवेगळ्या औद्योगिक अनुप्रयोगांसाठी आणि संशोधन क्षेत्रांसाठी योग्य आहेत. तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, व्हॅक्यूम कोटिंग तंत्रज्ञान देखील प्रगती करत आहे आणि नवीन व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे देखील उदयास येत आहेत.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीननिर्माता Guangdong Zhenhua
पोस्ट वेळ: जून-१२-२०२४