१. आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन टेक्नॉलॉजीमध्ये झिल्ली आणि सब्सट्रेटमधील मजबूत आसंजन असते, झिल्लीचा थर खूप मजबूत असतो. प्रयोगांवरून असे दिसून येते की: आयन बीम-असिस्टेड डिपॉझिशनमुळे थर्मल वाष्प निक्षेपणाच्या आसंजनापेक्षा आसंजनाचे निक्षेपण अनेक वेळा ते शेकडो वेळा वाढले आहे, याचे मुख्य कारण म्हणजे क्लिनिंग इफेक्टच्या पृष्ठभागावर आयन बॉम्बर्डमेंट, ज्यामुळे झिल्लीचा आधार इंटरफेस ग्रेडियंट इंटरफेशियल स्ट्रक्चर किंवा हायब्रिड ट्रान्झिशन लेयर तयार करतो, तसेच झिल्लीचा ताण कमी करतो.
२. आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन फिल्मचे यांत्रिक गुणधर्म सुधारू शकते, थकवा टिकवून ठेवण्याचे आयुष्य वाढवू शकते, ऑक्साइड, कार्बाइड, क्यूबिक बीएन, टीआयबी२ आणि डायमंड-सदृश कोटिंग्ज तयार करण्यासाठी अतिशय योग्य. उदाहरणार्थ, 1Cr18Ni9Ti उष्णता-प्रतिरोधक स्टीलमध्ये आयन-बीम-असिस्टेड डिपॉझिशन तंत्रज्ञानाचा वापर करून २००nm Si3N4 फिल्म वाढवणे, केवळ सामग्रीच्या पृष्ठभागावर थकवा क्रॅक दिसण्यास प्रतिबंध करू शकत नाही, तर थकवा क्रॅक प्रसाराचा दर देखील लक्षणीयरीत्या कमी करू शकते, त्याचे आयुष्य वाढवण्यासाठी चांगली भूमिका बजावते.
३. आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन फिल्मच्या स्ट्रेसचे स्वरूप बदलू शकते आणि त्याची क्रिस्टलीय रचना बदलू शकते. उदाहरणार्थ, सब्सट्रेट पृष्ठभागाच्या ११.५ केव्ही Xe + किंवा Ar + बॉम्बर्डमेंटसह Cr फिल्म तयार करताना, असे आढळून आले की सब्सट्रेट तापमानाचे समायोजन, बॉम्बर्डमेंट आयन ऊर्जा, आयन आणि अणू पॅरामीटर्सच्या गुणोत्तरापर्यंत पोहोचण्यासाठी, टेन्सिल स्ट्रेसपासून कॉम्प्रेसिव्ह स्ट्रेसपर्यंत ताण निर्माण करू शकते, फिल्मची क्रिस्टलीय रचना देखील बदल घडवून आणेल. एका विशिष्ट आयन-ते-अणू आगमन गुणोत्तराखाली, आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशनमध्ये थर्मल वाष्प डिपॉझिशनद्वारे जमा केलेल्या झिल्लीच्या थरापेक्षा चांगले निवडक अभिमुखता असते.
४. आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशनमुळे पडद्याचा गंज प्रतिकार आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोध वाढू शकतो. फिल्म लेयरच्या आयन बीम-असिस्टेड डिपॉझिशनच्या घनतेमुळे, फिल्म बेस इंटरफेस स्ट्रक्चरमध्ये सुधारणा होते किंवा कणांमधील धान्य सीमा गायब झाल्यामुळे आकारहीन स्थिती निर्माण होते, जी सामग्रीच्या गंज प्रतिकारशक्ती वाढवण्यास आणि उच्च तापमानाच्या ऑक्सिडेशनला प्रतिकार करण्यास अनुकूल असते.
५. आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन फिल्मचे इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक गुणधर्म बदलू शकते आणि ऑप्टिकल थिन फिल्म्सची कार्यक्षमता सुधारू शकते.
६. आयन-सहाय्यित निक्षेपण अणु निक्षेपण आणि आयन इम्प्लांटेशनशी संबंधित पॅरामीटर्सचे अचूक आणि स्वतंत्र समायोजन करण्यास अनुमती देते आणि कमी बॉम्बर्डमेंट उर्जेवर सुसंगत रचना असलेल्या काही मायक्रोमीटरच्या कोटिंग्जची सलग निर्मिती करण्यास अनुमती देते, जेणेकरून खोलीच्या तापमानावर विविध पातळ थर वाढवता येतील, ज्यामुळे उच्च तापमानावर प्रक्रिया केल्यामुळे होणारे पदार्थ किंवा अचूक भागांवर होणारे प्रतिकूल परिणाम टाळता येतील.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: जानेवारी-२४-२०२४