Вакуум бүрэх технологи нь электроник, оптик, сав баглаа боодол, чимэглэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг вакуум орчинд нимгэн хальсан материалыг субстратын материалын гадаргуу дээр буулгах технологи юм. Вакуум бүрэх төхөөрөмжийг үндсэндээ дараахь төрлүүдэд хувааж болно.
1. Дулаан ууршуулах бүрэх төхөөрөмж: энэ нь вакуум бүрэх хамгийн уламжлалт арга бөгөөд нимгэн хальсан материалыг ууршуулах завинд халаах замаар материалыг ууршуулж, субстратын материалын гадаргуу дээр байрлуулна.
2. Шүрших бүрэх төхөөрөмж: өндөр энергитэй ионуудыг ашиглан зорилтот материалын гадаргууд цохилт өгөхөд зорилтот материалын атомуудыг цацаж, субстратын материалд байрлуулна. Магнетрон цацах нь масс үйлдвэрлэхэд тохиромжтой хальсыг илүү жигд, илүү бат бөх наалдуулах чадвартай.
3.Ион цацрагт тунадасжуулах төхөөрөмж: Ион цацрагийг нимгэн хальсан материалыг субстрат дээр буулгахад ашигладаг. Энэ арга нь маш жигд хальс авах боломжтой бөгөөд өндөр нарийвчлал шаардсан тохиолдолд тохиромжтой боловч тоног төхөөрөмжийн өртөг өндөр байдаг.
4. Химийн уурын хуримтлал (CVD) төхөөрөмж: Химийн урвалаар субстратын материалын гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг. Энэ арга нь өндөр чанартай, олон төрлийн кино бэлтгэх боломжтой боловч тоног төхөөрөмж нь нарийн төвөгтэй, өртөг өндөртэй байдаг.
5. Молекулын цацрагийн эпитакс (MBE) төхөөрөмж: Энэ нь атомын түвшинд нимгэн хальсны өсөлтийг хянах арга бөгөөд хагас дамжуулагч болон нано технологийн хэрэглээнд зориулж хэт нимгэн давхарга, олон давхаргат бүтцийг бэлтгэхэд голчлон ашиглагддаг.
6. Plasma Enhanced Chemical Fapor Deposition (PECVD) төхөөрөмж: Энэ нь плазмыг ашиглан химийн урвалаар нимгэн хальсыг хуримтлуулж, бага температурт нимгэн хальс үүсгэх боломжийг олгодог техник юм.
7. Импульсийн лазерын хуримтлал (PLD) төхөөрөмж: Эдгээр нь байг цохих, зорилтот гадаргуугаас материалыг ууршуулж, субстрат дээр буулгахын тулд өндөр энерги бүхий лазерын импульсийг ашигладаг бөгөөд өндөр чанартай, нарийн төвөгтэй ислийн хальсыг ургуулахад тохиромжтой.
Эдгээр төхөөрөмж тус бүр нь дизайн, ашиглалтын онцлог шинж чанартай бөгөөд үйлдвэрлэлийн янз бүрийн хэрэглээ, судалгааны салбарт тохиромжтой. Технологийн хөгжлийг дагаад вакуум бүрэх технологи ч хөгжиж, вакуум бүрэх шинэ тоног төхөөрөмж ч бий болж байна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машинүйлдвэрлэгч Гуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 6-р сарын 12