Мембран давхаргын механик шинж чанарт наалдац, стресс, нэгтгэх нягт гэх мэт нөлөөлнө.Мембран давхаргын материал ба процессын хүчин зүйлсийн хоорондын хамаарлаас харахад мембраны давхаргын механик бат бөх чанарыг сайжруулахыг хүсвэл дараах үйл явцын параметрүүдэд анхаарлаа хандуулах нь зүйтэй.
(1) вакуум түвшин. Киноны гүйцэтгэлийн вакуум нь маш тодорхой харагдаж байна. Кино давхаргын гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүдийн ихэнх нь вакуум түвшингээс ихээхэн хамаардаг. Ихэвчлэн вакуум зэрэг нэмэгдэхийн хэрээр хальсыг нэгтгэх нягтрал нэмэгдэж, бат бөх чанар нэмэгдэж, хальсны бүтэц сайжирч, химийн найрлага нь цэвэр болж, харин үүнтэй зэрэгцэн стресс нэмэгддэг.
(2) Хадгаламжийн хувь хэмжээ. Тунадасжилтын хурдыг сайжруулах нь зөвхөн ууршилтын хурдыг сайжруулах, өөрөөр хэлбэл, ууршилтын эх үүсвэрийн температурын хандлагыг нэмэгдүүлэх, мөн хүрэхийн тулд ууршилтын эх үүсвэрийн талбайн хандлагыг нэмэгдүүлэхэд ашиглаж болно, гэхдээ хандалтын температурыг нэмэгдүүлэхийн тулд ууршилтын эх үүсвэрийг ашиглах нь сул талуудтай: мембраны давхаргын стрессийг хэт том болгох; хальс үүсгэгч хий нь амархан задардаг. Тиймээс заримдаа ууршилтын эх үүсвэрийн талбайг нэмэгдүүлэх нь ууршилтын эх үүсвэрийн температурыг сайжруулахаас илүү таатай байдаг.
(3) субстратын температур. Субстратын температурыг нэмэгдүүлэх нь үлдсэн хийн молекулуудын субстратын гадаргуу дээр шингээхэд тустай, субстрат болон хуримтлагдсан молекулуудын хоорондох холбох хүчийг нэмэгдүүлэх: үүнтэй зэрэгцэн физик шингээлтийг химийн шингээлт болгон хувиргах, молекулуудын харилцан үйлчлэлийг сайжруулах, мембраны давхаргын бүтэц нягт байх болно. Жишээлбэл, Mg, мембран, субстратын 250 ~ 300 ℃ хүртэл халаах нь дотоод стрессийг бууруулж, нэгтгэх нягтыг сайжруулж, мембраны давхаргын хатуулгийг нэмэгдүүлдэг: субстратыг 120 ~ 150 ℃ хүртэл халаахад Zr03-Si02 бэлтгэсэн, олон давхаргат мембран, түүний механик бат бөх чанар нь субстратын хэт өндөр температурыг ихэсгэдэг боловч субстратын давхарга нь хэт өндөр температурт нөлөөлдөг.
(4) Ионы бөмбөгдөлт. Ионы бөмбөгдөлт нь өндөр наалдамхай гадаргуу үүсэх, гадаргуугийн барзгар байдал, исэлдэлт, бөөгнөрөл нягтрал зэрэгт нөлөөлдөг. Бүрэхээс өмнө бөмбөгдөлт нь гадаргууг цэвэрлэж, наалдацыг нэмэгдүүлэх боломжтой; Бүрхүүлсний дараа бөмбөгдөлт нь хальсны давхаргын нягтрал зэргийг сайжруулж, улмаар механик бат бэх, хатуулгийг нэмэгдүүлдэг.
(5) Субстрат цэвэрлэх. Субстрат цэвэрлэх арга нь тохиромжгүй эсвэл цэвэр биш, субстратын үлдэгдэл хольц эсвэл цэвэрлэгээний бодис, дараа нь шинэ бохирдлыг үүсгэж, янз бүрийн нэгдэл, наалдацыг бүрэх, бүтцийн шинж чанар, оптик зузаан нь эхний давхаргад нөлөөлж, мөн хальсны давхаргыг субстратаас амархан салгаж, улмаар хальсны давхаргын шинж чанарыг өөрчилдөг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 5-р сарын 04-ний өдөр