വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ വർഗ്ഗീകരണങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

വാക്വം കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്നത് ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഒപ്റ്റിക്സ്, പാക്കേജിംഗ്, ഡെക്കറേഷൻ, മറ്റ് മേഖലകൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന, വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ അടിവസ്ത്ര വസ്തുക്കളുടെ ഉപരിതലത്തിൽ നേർത്ത ഫിലിം വസ്തുക്കൾ നിക്ഷേപിക്കുന്ന ഒരു സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്. വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളെ പ്രധാനമായും ഇനിപ്പറയുന്ന തരങ്ങളായി തിരിക്കാം:

1. തെർമൽ ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ: ഇത് ഏറ്റവും പരമ്പരാഗത വാക്വം കോട്ടിംഗ് രീതിയാണ്, ബാഷ്പീകരണ ബോട്ടിലെ നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ ചൂടാക്കി, മെറ്റീരിയൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുകയും അടിവസ്ത്ര മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
2. സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ: ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള അയോണുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ അടിക്കുമ്പോൾ, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ആറ്റങ്ങൾ സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത് അടിവസ്ത്ര മെറ്റീരിയലിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന് ബഹുജന ഉൽപ്പാദനത്തിന് അനുയോജ്യമായ ഫിലിമിന്റെ കൂടുതൽ ഏകീകൃതവും ശക്തവുമായ അഡീഷൻ നേടാൻ കഴിയും.
3. അയോൺ ബീം ഡിപ്പോസിഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ: നേർത്ത ഫിലിം വസ്തുക്കൾ അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കാൻ അയോൺ ബീമുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ രീതി വളരെ ഏകീകൃത ഫിലിമുകൾ നേടാൻ കഴിയും കൂടാതെ ഉയർന്ന കൃത്യത ആവശ്യമുള്ള അവസരങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്, എന്നാൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ വില ഉയർന്നതാണ്.
4. കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) ഉപകരണങ്ങൾ: ഒരു രാസപ്രവർത്തനത്തിലൂടെ അടിവസ്ത്ര വസ്തുക്കളുടെ ഉപരിതലത്തിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നു. ഈ രീതിയിൽ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള, മൾട്ടി-സ്പീഷീസ് ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ കഴിയും, എന്നാൽ ഉപകരണങ്ങൾ സങ്കീർണ്ണവും ചെലവേറിയതുമാണ്.
5. മോളിക്യുലാർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി (MBE) ഉപകരണങ്ങൾ: ആറ്റോമിക് തലത്തിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ വളർച്ച നിയന്ത്രിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു രീതിയാണിത്, ഇത് പ്രധാനമായും അർദ്ധചാലക, നാനോ ടെക്നോളജി ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി അൾട്രാ-നേർത്ത പാളികളും മൾട്ടിലെയർ ഘടനകളും തയ്യാറാക്കുന്നതിനാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്.
6. പ്ലാസ്മ എൻഹാൻസ്ഡ് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (PECVD) ഉപകരണങ്ങൾ: ഒരു രാസപ്രവർത്തനം വഴി നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ നിക്ഷേപം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് പ്ലാസ്മ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു സാങ്കേതികതയാണിത്, ഇത് താഴ്ന്ന താപനിലയിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ ദ്രുത രൂപീകരണത്തിന് അനുവദിക്കുന്നു.
7. പൾസ്ഡ് ലേസർ ഡിപ്പോസിഷൻ (PLD) ഉപകരണങ്ങൾ: ഇവ ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള ലേസർ പൾസുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ഒരു ലക്ഷ്യത്തിലെത്തുന്നു, ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിൽ നിന്ന് മെറ്റീരിയൽ ബാഷ്പീകരിച്ച് ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതും സങ്കീർണ്ണവുമായ ഓക്സൈഡ് ഫിലിമുകൾ വളർത്തുന്നതിന് അനുയോജ്യമാണ്.
ഈ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഓരോന്നിനും രൂപകൽപ്പനയിലും പ്രവർത്തനത്തിലും അതിന്റേതായ സവിശേഷതകളുണ്ട്, വ്യത്യസ്ത വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും ഗവേഷണ മേഖലകൾക്കും അനുയോജ്യമാണ്. സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികാസത്തോടെ, വാക്വം കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയും പുരോഗമിക്കുന്നു, കൂടാതെ പുതിയ വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളും ഉയർന്നുവരുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻനിർമ്മാതാവ് Guangdong Zhenhua