ഫിലിം ലെയറിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള പ്രക്രിയാ വഴികൾ

മെംബ്രൻ പാളിയുടെ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങളെ അഡീഷൻ, സ്ട്രെസ്, അഗ്രഗേഷൻ ഡെൻസിറ്റി മുതലായവ ബാധിക്കുന്നു. മെംബ്രൻ പാളി മെറ്റീരിയലും പ്രോസസ് ഘടകങ്ങളും തമ്മിലുള്ള ബന്ധത്തിൽ നിന്ന്, മെംബ്രൻ പാളിയുടെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി മെച്ചപ്പെടുത്തണമെങ്കിൽ, ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രോസസ് പാരാമീറ്ററുകളിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കണമെന്ന് കാണാൻ കഴിയും:

(1) വാക്വം ലെവൽ. ഫിലിമിന്റെ പ്രകടനത്തിലെ വാക്വം വളരെ വ്യക്തമാണ്. ഫിലിം ലെയറിന്റെ പ്രകടന സൂചകങ്ങളിൽ ഭൂരിഭാഗവും വാക്വം ലെവലിനെ വളരെയധികം ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു. സാധാരണയായി, വാക്വം ഡിഗ്രി വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച്, ഫിലിം അഗ്രഗേഷൻ സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നു, ദൃഢത വർദ്ധിക്കുന്നു, ഫിലിം ഘടന മെച്ചപ്പെടുന്നു, രാസഘടന ശുദ്ധമാകുന്നു, എന്നാൽ അതേ സമയം സമ്മർദ്ദവും വർദ്ധിക്കുന്നു.

(2) നിക്ഷേപ നിരക്ക്. നിക്ഷേപ നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തുക ബാഷ്പീകരണ നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് മാത്രമല്ല, അതായത്, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് താപനില സമീപനം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഏരിയ സമീപനം നേടുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കാം, എന്നാൽ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിച്ച് താപനില വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് സമീപനത്തിന്റെ പോരായ്മകളുണ്ട്: മെംബ്രൻ പാളി സമ്മർദ്ദം വളരെ വലുതാക്കുക; ഫിലിം രൂപപ്പെടുന്ന വാതകം വിഘടിപ്പിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്. അതിനാൽ ചിലപ്പോൾ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് താപനില മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനേക്കാൾ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഏരിയ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത് കൂടുതൽ അനുകൂലമാണ്.

(3) അടിവസ്ത്ര താപനില. അടിവസ്ത്ര താപനില വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത് ശേഷിക്കുന്ന വാതക തന്മാത്രകളുടെ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിലെ ആഗിരണം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നു, അടിവസ്ത്രവും നിക്ഷേപിച്ച തന്മാത്രകൾക്കിടയിലുള്ള ബന്ധന ശക്തിയും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു: അതേ സമയം ഭൗതിക ആഗിരണം രാസ ആഗിരണം ആയി പരിവർത്തനം ചെയ്യുന്നതിനെ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുകയും തന്മാത്രകൾ തമ്മിലുള്ള ഇടപെടൽ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും, അങ്ങനെ മെംബ്രൺ പാളി ഘടന ഇറുകിയതായിരിക്കും. ഉദാഹരണത്തിന്, Mg, മെംബ്രൺ, 250 ~ 300 ℃ വരെ അടിവസ്ത്ര ചൂടാക്കൽ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കാനും അഗ്രഗേഷൻ സാന്ദ്രത മെച്ചപ്പെടുത്താനും മെംബ്രൺ പാളിയുടെ കാഠിന്യം വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും: 120 ~ 150 ℃ വരെ അടിവസ്ത്ര ചൂടാക്കൽ തയ്യാറാക്കിയ Zr03-Si02, മൾട്ടിലെയർ മെംബ്രൺ, അതിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി വളരെയധികം വർദ്ധിച്ചു, പക്ഷേ അടിവസ്ത്ര താപനില വളരെ ഉയർന്നതാണ് മെംബ്രൺ പാളിയുടെ അപചയത്തിന് കാരണമാകും.

(4) അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ്. അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് ഉയർന്ന സംയോജിത പ്രതലങ്ങളുടെ രൂപീകരണം, ഉപരിതല പരുക്കൻത, ഓക്സീകരണം, അഗ്രഗേഷൻ സാന്ദ്രത എന്നിവയിൽ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. പൂശുന്നതിനു മുമ്പുള്ള ബോംബാർഡ്മെന്റ് ഉപരിതലത്തെ വൃത്തിയാക്കുകയും അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും; പൂശുന്നതിനു ശേഷമുള്ള ബോംബാർഡ്മെന്റ് ഫിലിം പാളി അഗ്രഗേഷൻ സാന്ദ്രത മുതലായവ മെച്ചപ്പെടുത്തും, അങ്ങനെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും കാഠിന്യവും വർദ്ധിക്കുന്നു.

(5) സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ക്ലീനിംഗ്. സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ക്ലീനിംഗ് രീതി അനുയോജ്യമല്ലെങ്കിൽ വൃത്തിയില്ലാത്തതാണെങ്കിൽ, അടിവസ്ത്രത്തിൽ അവശിഷ്ടമായ മാലിന്യങ്ങളോ ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റോ ഉണ്ടെങ്കിൽ, അത് പുതിയ മലിനീകരണത്തിന് കാരണമാകും, കോട്ടിംഗിൽ വ്യത്യസ്ത സംയോജന അവസ്ഥകളും അഡീഷനും ഉണ്ടാകുന്നു, ഇത് ആദ്യ പാളിയുടെ ഘടനാപരമായ ഗുണങ്ങളെയും ഒപ്റ്റിക്കൽ കനത്തെയും ബാധിക്കുന്നു, മാത്രമല്ല ഫിലിം പാളി എളുപ്പത്തിൽ അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിന്ന് പുറത്തുവരാൻ സഹായിക്കുന്നു, അങ്ങനെ ഫിലിം പാളിയുടെ സവിശേഷതകൾ മാറുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ