അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി

1. അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ സവിശേഷത മെംബ്രണും അടിവസ്ത്രവും തമ്മിലുള്ള ശക്തമായ അഡീഷൻ ആണ്, മെംബ്രൻ പാളി വളരെ ശക്തമാണ്. പരീക്ഷണങ്ങൾ കാണിക്കുന്നത്: അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് അഡീഷൻ ഡിപ്പോസിഷൻ താപ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷന്റെ അഡീഷനേക്കാൾ നിരവധി മടങ്ങ് മുതൽ നൂറുകണക്കിന് മടങ്ങ് വരെ വർദ്ധിച്ചു, കാരണം പ്രധാനമായും ക്ലീനിംഗ് ഇഫക്റ്റിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് മൂലമാണ്, അതിനാൽ മെംബ്രൻ ബേസ് ഇന്റർഫേസ് ഒരു ഗ്രേഡിയന്റ് ഇന്റർഫേഷ്യൽ ഘടന അല്ലെങ്കിൽ ഹൈബ്രിഡ് ട്രാൻസിഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനും മെംബ്രൻ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിനും സഹായിക്കുന്നു.

2. അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിമിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്താനും ക്ഷീണ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും, ഓക്സൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, ക്യൂബിക് BN, TiB2, വജ്രം പോലുള്ള കോട്ടിംഗുകൾ എന്നിവ തയ്യാറാക്കാൻ വളരെ അനുയോജ്യമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, 1Cr18Ni9Ti ചൂട്-പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള സ്റ്റീലിൽ, 200nm Si3N4 ഫിലിം വളർത്തുന്നതിന് അയോൺ-ബീം-അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച്, മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ക്ഷീണ വിള്ളലുകൾ ഉണ്ടാകുന്നത് തടയാൻ മാത്രമല്ല, ക്ഷീണ വിള്ളൽ വ്യാപനത്തിന്റെ നിരക്ക് ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കാനും കഴിയും, അതിന്റെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് നല്ല പങ്കുണ്ട്.

3. അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം ഫിലിമിന്റെ സമ്മർദ്ദ സ്വഭാവത്തെ മാറ്റുകയും അതിന്റെ ക്രിസ്റ്റലിൻ ഘടനയിൽ മാറ്റങ്ങൾ വരുത്തുകയും ചെയ്യും. ഉദാഹരണത്തിന്, 11.5keV Xe + അല്ലെങ്കിൽ Ar + ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് ഉപയോഗിച്ച് Cr ഫിലിം തയ്യാറാക്കുമ്പോൾ, അടിവസ്ത്ര താപനില, ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് അയോൺ ഊർജ്ജം, അയോണുകൾ, ആറ്റങ്ങൾ എന്നിവയുടെ പാരാമീറ്ററുകളുടെ അനുപാതത്തിലെത്താനുള്ള ക്രമീകരണം, ടെൻസൈൽ സമ്മർദ്ദത്തിൽ നിന്ന് കംപ്രസ്സീവ് സമ്മർദ്ദത്തിലേക്ക് സമ്മർദ്ദം ഉണ്ടാക്കുമെന്ന് കണ്ടെത്തി, ഫിലിമിന്റെ ക്രിസ്റ്റലിൻ ഘടനയും മാറ്റങ്ങൾ വരുത്തും. ഒരു നിശ്ചിത അയോൺ-ടു-ആറ്റം ആഗമന അനുപാതത്തിൽ, താപ നീരാവി നിക്ഷേപം വഴി നിക്ഷേപിക്കപ്പെടുന്ന മെംബ്രൻ പാളിയേക്കാൾ മികച്ച സെലക്ടീവ് ഓറിയന്റേഷൻ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപത്തിനുണ്ട്.

4. അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ മെംബ്രണിന്റെ നാശന പ്രതിരോധവും ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധവും വർദ്ധിപ്പിക്കും. ഫിലിം പാളിയുടെ അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷന്റെ സാന്ദ്രത കാരണം, ഫിലിം ബേസ് ഇന്റർഫേസ് ഘടന മെച്ചപ്പെടുത്തൽ അല്ലെങ്കിൽ കണികകൾക്കിടയിലുള്ള ധാന്യ അതിരുകൾ അപ്രത്യക്ഷമാകുന്നത് മൂലമുണ്ടാകുന്ന രൂപരഹിതമായ അവസ്ഥയുടെ രൂപീകരണം, ഇത് മെറ്റീരിയലിന്റെ നാശന പ്രതിരോധം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും ഉയർന്ന താപനിലയുടെ ഓക്സീകരണത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതിനും സഹായകമാണ്.

5. അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം ഫിലിമിന്റെ വൈദ്യുതകാന്തിക ഗുണങ്ങളെ മാറ്റുകയും ഒപ്റ്റിക്കൽ നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യും.

6. അയോൺ സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം, ആറ്റോമിക് നിക്ഷേപവും അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനുമായി ബന്ധപ്പെട്ട പാരാമീറ്ററുകളുടെ കൃത്യവും സ്വതന്ത്രവുമായ ക്രമീകരണം അനുവദിക്കുന്നു, കൂടാതെ കുറഞ്ഞ ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് ഊർജ്ജത്തിൽ സ്ഥിരമായ ഘടനയുള്ള കുറച്ച് മൈക്രോമീറ്ററുകളുടെ കോട്ടിംഗുകൾ തുടർച്ചയായി സൃഷ്ടിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു, അങ്ങനെ വിവിധ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ മുറിയിലെ താപനിലയിൽ വളർത്താൻ കഴിയും, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ അവയെ സംസ്‌കരിക്കുന്നതിലൂടെ വസ്തുക്കളിലോ കൃത്യതയുള്ള ഭാഗങ്ങളിലോ ഉണ്ടാകാവുന്ന പ്രതികൂല ഫലങ്ങൾ ഒഴിവാക്കുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ