Добивањето вакуум е познато и како „вакуумско пумпање“, што се однесува на употребата на различни вакуумски пумпи за отстранување на воздухот во садот, така што притисокот во просторот ќе падне под една атмосфера. Во моментов, за да се добие вакуум, најчесто се користат уреди како што се ротациони механички вакуумски пумпи, пумпи Roots, пумпи за дифузија на масло, композитни молекуларни пумпи, пумпи за адсорпција со молекуларно сито, пумпи за сублимација на титаниум, јонски пумпи за распрскување и криогени пумпи и така натаму. Кај овие пумпи, првите четири пумпи се категоризираат како пумпи за пренос на гас (трансфер вакуум пумпи), што значи дека молекулите на гасот континуирано се вшмукуваат во вакуум пумпата и се испуштаат во надворешната средина за да се реализира евакуацијата; последните четири пумпи се категоризираат како пумпи за зафаќање гас (вакуум пумпи за зафаќање), кои се молекуларно кондензирани или хемиски врзани на внатрешниот ѕид на комората за пумпање за да се добие потребниот вакуум. Пумпите за зафаќање гас се нарекуваат и вакуум пумпи без масло бидејќи не користат масло како работен медиум. За разлика од пумпите за пренос, кои трајно го отстрануваат гасот, некои пумпи за зафаќање се реверзибилни, дозволувајќи собраниот или кондензиран гас да се испушти назад во системот за време на процесот на загревање.
Трансфер вакуум пумпи се поделени во две главни категории: волуметриски и пренос на импулс. Волуметриските преносни пумпи обично вклучуваат механички пумпи со ротациони крила, пумпи со течен прстен, клипни пумпи и Рутс пумпи; вакуум пумпи за пренос на импулс обично вклучуваат молекуларни пумпи, млазни пумпи, пумпи за дифузија на масло. Вакуум пумпи за зафаќање обично вклучуваат нискотемпературни адсорпциски и распрскувачки јонски пумпи.
Генерално, процесот на обложување е различен, вакуумот во комората за вакуумско обложување треба да достигне различни нивоа, а во вакуум технологијата, повеќе се однесува на позадинскиот вакуум (исто така познат како внатрешен вакуум) за да го изрази своето ниво. Позадинскиот вакуум се однесува на вакуумот на комората за вакуумско обложување преку вакуум пумпата за да се задоволат потребите на процесот на обложување на највисок вакуум, а големината на овој вакуум, главно зависи од капацитетот на вакуумско пумпање. Собата за вакуумско обложување преку својот вакуумски систем може да достигне највисок вакуум, наречен граничен вакуум (или граничен притисок). Табела 1-2 го наведува опсегот на работен притисок на некои вообичаени вакуумски пумпи и крајниот притисок што може да се добие. Засенчените делови од табелата ги претставуваат притисоците што може да се добијат од секоја вакуумска пумпа кога се користи во комбинација со друга опрема.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 30 август 2024 година