Vakuuma pārklāšanas tehnoloģija ir tehnoloģija, kas vakuuma vidē uzklāj plānas plēves materiālus uz substrāta materiālu virsmas, un to plaši izmanto elektronikā, optikā, iepakojumā, dekorēšanā un citās jomās. Vakuuma pārklāšanas iekārtas galvenokārt var iedalīt šādos veidos:
1. Termiskās iztvaikošanas pārklāšanas iekārtas: šī ir tradicionālākā vakuuma pārklāšanas metode, kurā, karsējot plāno plēves materiālu iztvaikošanas laivā, materiāls tiek iztvaicēts un nogulsnēts uz substrāta materiāla virsmas.
2. Izsmidzināšanas pārklāšanas iekārtas: izmantojot augstas enerģijas jonus, lai sasniegtu mērķa materiāla virsmu, mērķa materiāla atomi tiek izsmidzināti un nogulsnēti uz substrāta materiāla. Magnetrona izsmidzināšana ļauj panākt vienmērīgāku un spēcīgāku plēves saķeri, kas ir piemērota masveida ražošanai.
3. Jonu kūļa uzklāšanas iekārtas: Jonu kūļus izmanto, lai uz substrāta uzklātu plānas plēves materiālus. Šī metode var iegūt ļoti vienmērīgas plēves un ir piemērota gadījumiem ar augstām precizitātes prasībām, taču iekārtu izmaksas ir augstas.
4. Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) iekārtas: ķīmiskas reakcijas rezultātā uz substrāta materiāla virsmas veido plānas plēves. Šī metode var sagatavot augstas kvalitātes, daudzu sugu plēves, taču iekārtas ir sarežģītas un dārgas.
5. Molekulārā stara epitaksijas (MBE) iekārta: šī ir metode plāno plēvju augšanas kontrolei atomu līmenī, un to galvenokārt izmanto īpaši plānu slāņu un daudzslāņu struktūru sagatavošanai pusvadītāju un nanotehnoloģiju lietojumprogrammām.
6. Ar plazmu pastiprinātas ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (PECVD) iekārtas: šī ir metode, kurā tiek izmantota plazma, lai ar ķīmiskas reakcijas palīdzību uzlabotu plānu kārtiņu uzklāšanu, ļaujot ātri veidot plānas kārtiņas zemākā temperatūrā.
7. Impulsa lāzera uzklāšanas (PLD) ierīces: tās izmanto augstas enerģijas lāzera impulsus, lai trāpītu mērķim, iztvaicētu materiālu no mērķa virsmas un nogulsnētu to uz substrāta, un ir piemērotas augstas kvalitātes, sarežģītu oksīda plēvju audzēšanai.
Katrai no šīm ierīcēm ir savas konstrukcijas un darbības īpašības, un tās ir piemērotas dažādiem rūpnieciskiem pielietojumiem un pētniecības jomām. Attīstoties tehnoloģijām, attīstās arī vakuuma pārklāšanas tehnoloģija, un parādās arī jaunas vakuuma pārklāšanas iekārtas.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnaražotājs Guangdong Zhenhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 12. jūnijs