Membrānas slāņa mehāniskās īpašības ietekmē adhēzija, spriegums, agregācijas blīvums utt. No membrānas slāņa materiāla un procesa faktoru savstarpējās attiecības var redzēt, ka, ja vēlamies uzlabot membrānas slāņa mehānisko izturību, mums jākoncentrējas uz šādiem procesa parametriem:
(1) Vakuuma līmenis. Vakuuma ietekme uz plēves veiktspēju ir ļoti acīmredzama. Lielākā daļa plēves slāņa veiktspējas rādītāju ir ļoti atkarīgi no vakuuma līmeņa. Parasti, palielinoties vakuuma pakāpei, palielinās plēves agregācijas blīvums, palielinās stingrība, uzlabojas plēves struktūra, tīrs ķīmiskais sastāvs, bet vienlaikus palielinās arī spriegums.
(2) Nogulsnēšanās ātrums. Nogulsnēšanās ātruma uzlabošana ne tikai uzlabo iztvaikošanas ātrumu, t. i., palielina iztvaikošanas avota temperatūru, bet arī palielina iztvaikošanas avota laukumu, taču iztvaikošanas avota izmantošanai temperatūras palielināšanai ir savi trūkumi: membrānas slāņa spriegums ir pārāk liels; plēvi veidojošā gāze viegli sadalās. Tāpēc dažreiz ir labāk palielināt iztvaikošanas avota laukumu nekā uzlabot iztvaikošanas avota temperatūru.
(3) substrāta temperatūra. Substrāta temperatūras paaugstināšana veicina atlikušo gāzes molekulu adsorbciju uz substrāta virsmas, tādējādi izslēdzot nogulsnētās molekulas un palielinot substrāta saistīšanās spēku starp nogulsnētajām molekulām: vienlaikus tiek veicināta fizikālās adsorbcijas pārvēršana ķīmiskajā adsorbcijā, uzlabota mijiedarbība starp molekulām, lai membrānas slāņa struktūra būtu cieša. Piemēram, Mg membrānas substrāta uzsildīšana līdz 250–300 ℃ var samazināt iekšējo spriegumu, uzlabot agregācijas blīvumu un palielināt membrānas slāņa cietību: substrāta uzsildīšana līdz 120–150 ℃, lai iegūtu Zr03-Si02 daudzslāņu membrānu, ievērojami palielina tā mehānisko izturību, bet pārāk augsta substrāta temperatūra izraisīs membrānas slāņa bojāšanos.
(4) Jonu bombardēšana. Jonu bombardēšanai ir ietekme uz ļoti kohēzijas bagātu virsmu veidošanos, virsmas raupjumu, oksidēšanos un agregācijas blīvumu. Bombardēšana pirms pārklāšanas var attīrīt virsmu un palielināt adhēziju; bombardēšana pēc pārklāšanas var uzlabot plēves slāņa agregācijas blīvumu utt., tādējādi palielinot mehānisko izturību un cietību.
(5) Pamatnes tīrīšana. Ja pamatnes tīrīšanas metode nav piemērota vai tā nav tīra, pamatnē paliek piemaisījumi vai tīrīšanas līdzeklis, kas rada jaunus piesārņojumus, un pārklājumā rodas dažādi kohēzijas apstākļi un saķere, kas ietekmē pirmā slāņa strukturālās īpašības un optisko biezumu, kā arī atvieglo plēves slāņa atdalīšanos no pamatnes, tādējādi mainot plēves slāņa īpašības.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 4. maijs