CVD pārklāšanas iekārtu raksturojums

CVD pārklājuma tehnoloģijai ir šādas īpašības:

1. CVD iekārtu darbības process ir relatīvi vienkāršs un elastīgs, un tas var sagatavot atsevišķas vai kompozītmateriāla plēves un sakausējuma plēves ar dažādām proporcijām;

2. CVD pārklājumam ir plašs pielietojumu klāsts, un to var izmantot dažādu metāla vai metāla plēves pārklājumu sagatavošanai;

3. Augsta ražošanas efektivitāte, pateicoties nogulsnēšanas ātrumam no dažiem mikroniem līdz simtiem mikronu minūtē;

4. Salīdzinot ar PVD metodi, CVD metodei ir labāka difrakcijas veiktspēja, un tā ir ļoti piemērota sarežģītu formu substrātu, piemēram, rievu, pārklātu caurumu un pat aklu caurumu struktūru, pārklāšanai. Pārklājumu var uzklāt plēvē ar labu kompaktumu. Pateicoties augstajai temperatūrai plēves veidošanās procesā un spēcīgajai adhēzijai uz plēves substrāta saskarnes, plēves slānis ir ļoti stingrs.

5. Radiācijas radītie bojājumi ir relatīvi zemi un tos var integrēt ar MOS integrēto shēmu procesiem.

—— Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua, avakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājs