Vakuuminio dengimo technologija – tai technologija, kurios metu ant substrato medžiagų paviršiaus vakuuminėje aplinkoje nusodinamos plonos plėvelės medžiagos, plačiai naudojamos elektronikoje, optikoje, pakavimo, dekoravimo ir kitose srityse. Vakuuminio dengimo įrangą daugiausia galima suskirstyti į šiuos tipus:
1. Terminio garinimo įranga: tai tradiciškiausias vakuuminio dengimo būdas, kaitinant ploną plėvelę garinimo valtyje, medžiaga išgarinama ir nusodinama ant pagrindo medžiagos paviršiaus.
2. Purškimo įranga: naudojant didelės energijos jonus, kurie veikia tikslinės medžiagos paviršių, tikslinės medžiagos atomai yra purškiami ir nusodinami ant pagrindo medžiagos. Magnetroninis purškimas leidžia gauti tolygesnį ir stipresnį plėvelės sukibimą, tinkamą masinei gamybai.
3. Jonų pluošto nusodinimo įranga: jonų pluoštai naudojami plonoms plėvelėms ant pagrindo nusodinti. Šiuo metodu galima gauti labai vienodas plėveles ir jis tinka tais atvejais, kai reikia didelio tikslumo, tačiau įrangos kaina yra didelė.
4. Cheminio garinimo nusodinimo (CVD) įranga: cheminės reakcijos būdu ant pagrindo medžiagos paviršiaus suformuojamos plonos plėvelės. Šiuo metodu galima paruošti aukštos kokybės, daugiarūšes plėveles, tačiau įranga yra sudėtinga ir brangi.
5. Molekulinių pluoštų epitaksijos (MBE) įranga: tai plonų plėvelių augimo atominiame lygmenyje kontrolės metodas, daugiausia naudojamas ultraploniems sluoksniams ir daugiasluoksnėms struktūroms puslaidininkių ir nanotechnologijų taikymams paruošti.
6. Plazminiu būdu sustiprinto cheminio garų nusodinimo (PECVD) įranga: tai technika, kuri naudoja plazmą plonų plėvelių nusodinimui sustiprinti cheminės reakcijos būdu, leidžianti greitai suformuoti plonas plėveles žemesnėje temperatūroje.
7. Impulsinio lazerinio nusodinimo (PLD) įrenginiai: juose naudojami didelės energijos lazerio impulsai, kad būtų galima pataikyti į taikinį, išgarinti medžiagą iš taikinio paviršiaus ir nusodinti ją ant pagrindo, ir jie tinka aukštos kokybės, sudėtingoms oksido plėvelėms auginti.
Kiekvienas iš šių įrenginių pasižymi savomis konstrukcijos ir veikimo savybėmis ir yra tinkamas įvairioms pramonės reikmėms bei tyrimų sritims. Tobulėjant technologijoms, tobulėja ir vakuuminio dengimo technologija, atsiranda nauja vakuuminio dengimo įranga.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinagamintojas Guangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. birželio 12 d.