Membraninio sluoksnio mechaninėms savybėms įtakos turi sukibimas, įtempis, agregacijos tankis ir kt. Iš membraninio sluoksnio medžiagos ir proceso veiksnių santykio matyti, kad norint pagerinti membraninio sluoksnio mechaninį stiprumą, turėtume sutelkti dėmesį į šiuos proceso parametrus:
(1) vakuumo lygis. Vakuumo poveikis plėvelės veikimui yra labai akivaizdus. Dauguma plėvelės sluoksnio eksploatacinių rodiklių labai priklauso nuo vakuumo lygio. Paprastai, didėjant vakuumo laipsniui, didėja plėvelės agregacijos tankis, tvirtumas, pagerėja plėvelės struktūra, cheminė sudėtis tampa grynesnė, tačiau tuo pačiu metu didėja ir įtempis.
(2) Nusodinimo greitis. Pagerinus nusodinimo greitį, galima ne tik pagerinti garavimo greitį, t. y. padidinti garavimo šaltinio temperatūrą, bet ir padidinti garavimo šaltinio plotą, tačiau garavimo šaltinio naudojimas temperatūrai didinti turi trūkumų: membranos sluoksnio įtempis yra per didelis; plėvelę formuojančios dujos lengvai suyra. Todėl kartais geriau padidinti garavimo šaltinio plotą nei pagerinti garavimo šaltinio temperatūrą.
(3) Pagrindo temperatūra. Padidinus pagrindo temperatūrą, palankesnės sąlygos likusių dujų molekulių adsorbcijai ant pagrindo paviršiaus, taip pašalinant ir padidinant nusodintų molekulių jungimosi jėgą: tuo pačiu metu bus skatinama fizikinės adsorbcijos konversija į cheminę adsorbciją, sustiprinama molekulių sąveika, todėl membranos sluoksnio struktūra tampa tvirta. Pavyzdžiui, Mg membrana, padengus padėklą iki 250–300 ℃, galima sumažinti vidinį įtempį, pagerinti agregacijos tankį ir padidinti membranos sluoksnio kietumą: padengus padėklą iki 120–150 ℃, paruošta Zr03-Si02 daugiasluoksnė membrana, jos mechaninis stiprumas labai padidėja, tačiau per aukšta pagrindo temperatūra sukels membranos sluoksnio pablogėjimą.
(4) Jonų bombardavimas. Jonų bombardavimas turi įtakos labai kohezinių paviršių formavimuisi, paviršiaus šiurkštumui, oksidacijai ir agregacijos tankiui. Bombardavimas prieš dengimą gali išvalyti paviršių ir padidinti sukibimą; bombardavimas po dengimo gali pagerinti plėvelės sluoksnio agregacijos tankį ir kt., taip padidinant mechaninį stiprumą ir kietumą.
(5) Pagrindo valymas. Jei pagrindo valymo metodas netinkamas arba jis nešvarus, pagrinde lieka priemaišų ar valymo priemonių, kurios gali sukelti naujų teršalų, dėl kurių dangos sukibimo sąlygos ir sukibimas tampa kitokie, o tai turi įtakos pirmojo sluoksnio struktūrinėms savybėms ir optiniam storiui, taip pat palengvina plėvelės sluoksnio atsiskyrimą nuo pagrindo, todėl pasikeičia plėvelės sluoksnio savybės.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. gegužės 4 d.