1. Jonų pluošto nusodinimo technologija pasižymi stipriu membranos ir pagrindo sukibimu, membranos sluoksnis yra labai tvirtas. Eksperimentai rodo, kad jonų pluošto nusodinimo sukibimas yra kelis kartus ar šimtus kartų didesnis nei terminio garinimo nusodinimo. Priežastis – jonų bombardavimas valo paviršių, todėl membranos pagrindo sąsaja sudaro gradientinę tarpsluoksninę struktūrą arba hibridinį pereinamąjį sluoksnį, taip sumažinant membranos įtempį.
2. Jonų pluošto nusodinimas gali pagerinti plėvelės mechanines savybes, pailginti jos tarnavimo laiką, labai tinka oksidų, karbidų, kubinio BN, TiB2 ir deimantinių dangų gamybai. Pavyzdžiui, 1Cr18Ni9Ti karščiui atspariame pliene, naudojant jonų pluošto nusodinimo technologiją, išauginama 200 nm Si3N4 plėvelė, kuri ne tik slopina nuovargio įtrūkimų atsiradimą medžiagos paviršiuje, bet ir žymiai sumažina nuovargio įtrūkimų sklaidos greitį, pailgindama jos tarnavimo laiką.
3. Jonų pluošto pagalba nusodinant galima pakeisti plėvelės įtempių pobūdį ir jos kristalinę struktūrą. Pavyzdžiui, gaminant Cr plėvelę, substrato paviršių bombarduojant 11,5 keV Xe+ arba Ar+ energija, nustatyta, kad pakoregavus substrato temperatūrą, bombardavimo jonų energiją, jonus ir atomus, kad būtų pasiektas parametrų santykis, galima pakeisti įtempį nuo tempimo iki gniuždymo įtempio, o plėvelės kristalinė struktūra taip pat pasikeis. Esant tam tikram jonų ir atomų atvykimo santykiui, jonų pluošto pagalba nusodintas sluoksnis turi geresnę selektyvią orientaciją nei terminio garinimo būdu nusodintas membraninis sluoksnis.
4. Jonų pluošto pagalba nusodinimas gali padidinti membranos atsparumą korozijai ir oksidacijai. Dėl jonų pluošto pagalba nusodinto plėvelės sluoksnio tankio pagerėja plėvelės pagrindo sąsajos struktūra arba dėl dalelių grūdelių ribų išnykimo susidaro amorfinė būsena, o tai padeda padidinti medžiagos atsparumą korozijai ir oksidacijai aukštoje temperatūroje.
5. Jonų pluošto pagalba atliekamas nusodinimas gali pakeisti plėvelės elektromagnetines savybes ir pagerinti optinių plonų plėvelių charakteristikas.
6. Jonų pagalba atliekamas nusodinimas leidžia tiksliai ir nepriklausomai reguliuoti su atominiu nusodinimu ir jonų implantacija susijusius parametrus ir leidžia nuosekliai generuoti kelių mikrometrų storio dangas su pastovia sudėtimi esant mažoms bombardavimo energijoms, kad įvairias plonas plėveles būtų galima auginti kambario temperatūroje, išvengiant neigiamo poveikio medžiagoms ar tikslioms detalėms, kuris gali atsirasti jas apdorojant aukštoje temperatūroje.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. sausio 24 d.