CVD dengimo technologija pasižymi šiomis savybėmis:
1. CVD įrangos veikimo procesas yra gana paprastas ir lankstus, jis gali paruošti pavienes arba sudėtines plėveles ir lydinių plėveles su skirtingomis proporcijomis;
2. CVD danga turi platų pritaikymo spektrą ir gali būti naudojama įvairioms metalinėms arba metalinėms plėvelėms dangoms paruošti;
3. Didelis gamybos efektyvumas dėl nusodinimo greičio nuo kelių mikronų iki šimtų mikronų per minutę;
4. Palyginti su PVD metodu, CVD pasižymi geresnėmis difrakcijos savybėmis ir labai tinka sudėtingų formų substratams, pvz., grioveliams, dengtoms skylėms ir net aklosioms skylėms, dengti. Danga gali būti padengta į plėvelę, kuri yra gerai kompaktiška. Dėl aukštos temperatūros plėvelės formavimo proceso metu ir stipraus sukibimo su plėvelės substrato sąsaja, plėvelės sluoksnis yra labai tvirtas.
5. Spinduliuotės daroma žala yra gana maža ir gali būti integruota su MOS integrinių grandynų procesais.
—— Šį straipsnį paskelbė Guangdong Zhenhua, avakuuminio dengimo mašinų gamintojas
Įrašo laikas: 2023 m. kovo 29 d.